포토레지스트

*세*

개인 판매자스토어

최초 등록일: 2010.06.19
최종 저작일: 2010.04; 16페이지/ MS 파워포인트; 가격 1,000원

다운로드

장바구니

상세정보
자료후기 (0)
자료문의 (0)
판매자정보

소개글

감광성 고분자 - 포토레지스트에 관한 PPT

본문내용

1. Photoresist?
정의
광 및 방사선 에너지의 작용으로 물리적·화학적 변화가 일어나는
고분자 조성물 또는 광조사에 의하여 고분자 물질로 형성되는
화합물의 조성물계

장점
미세정밀가공이 가능
종래의 열에 의한 작업(열반응)보다 상당한 에너지 및 원료의 절감
작은 설치 공간에서 작업을 깨끗이 신속·정확하게 수행
표면 코팅에 이용되는 광경화 수지 - 용제 사용 없이 액체 단량체를 사용
∴ 공해 발생 문제가 감소, 제조원가 감소( ∵ 원료손실이 없으므로)

2. Photoresist의 분류
성분별 분류
1. One component :
하나의 성분이 감광작용 및 마스크 (Mask) 작용

2. Two component :
- 감광제 (Sensitizer) : 감광 작용
다중체 (Polymer) : 이미지 작용

3. Three component :
- 감광제 (Sensitizer) : Photo acid generator 강산 발생
- 다중체 (Polymer) : 이미지 작용
- 촉매 : 반응 활성화

참고 자료

특집 "포토레지스트 재료-화상형성용 유기 감광재", 한국화상학회지, 4, 45 (1998).
감광성 고분자, Yi-Koan Hong Metallurgy and Materials Engineering,
Hanyang Univ.
http://www.reseat.re.kr
- 초미세 가공용 포토레지스트 재료의 진보
- 반도체 소재산업의 현황

이 자료와 함께 구매한 자료

주의사항

환불정책

해피캠퍼스는 구매자와 판매자 모두가 만족하는 서비스가 되도록 노력하고 있으며, 아래의 4가지 자료환불 조건을 꼭 확인해주시기 바랍니다.

파일오류	중복자료	저작권 없음	설명과 실제 내용 불일치
파일의 다운로드가 제대로 되지 않거나 파일형식에 맞는 프로그램으로 정상 작동하지 않는 경우	다른 자료와 70% 이상 내용이 일치하는 경우 (중복임을 확인할 수 있는 근거 필요함)	인터넷의 다른 사이트, 연구기관, 학교, 서적 등의 자료를 도용한 경우	자료의 설명과 실제 자료의 내용이 일치하지 않는 경우

이런 노하우도 있어요!더보기

찾던 자료가 아닌가요?아래 자료들 중 찾던 자료가 있는지 확인해보세요

이미징기술학(포토레지스트)[1] 33페이지

제1장 포토레지스트 제1절 기술의 개요 1.1-1 감광성 재료의 정의 광의의 ... 포토레지스트는 고체 필름 내에서 광화학 반응에 의하여 화학적이나 물리적인 ... 포토레지스트의 성능에는 두 가지 중요한 측면이 있는데 이것은 리소그래피 (
[실점 100점 A+ 레포트]리소그래피 장비를 통해 본 화이트 리스트 제외 사건의 특징 10페이지

포토레지스트에 열을 가한다. ... 이를 통해 포토레지스트의 밀도가 높아진다. 4. ... 포토레지스트에 남은 유기 용매를 제거하는 과정이다.
(학은제 A+ 학점) 현실경제에서 독점시장의 구체적인 예를 조사하고, 해결방안에 대해 토론하기 2페이지

이에 관련된 예시로는 일본의 불화수소 및 포토레지스트 수입을 사례로 들 수 ... 하지만 우리나라의 반도체 기업에서는 다른 나라로부터 불화수소 및 포토레지스트의 ... 삼성전자, SK하이닉스 등 대다수의 반도체 기업에서는 일본의 불화수소와 포토레지스트를
전자정보소재공학 Resolution 향상을 위한 반도체 공정기술 11페이지

사용되는 노볼락과 PHS 수지는 ArF(193nm)의 포토레지스트로서 사용할 ... PMMA와 poly(4-hydroxystyrene)이 EUV용 포토레지스트의 ... 두 번째로 포토레지스트 윗막(top coat)을 개발하기 위해서는 소수성이면서
칩워 누가 반도체 전쟁의 최후 승자가 될 것인가 독후감 1페이지

일본이 포토레지스트에서 엄청난 경쟁력을 갖고 있는 점이 놀랍다. ... 반도체는 포토리소그래피, 포토레지스트 이런 걸 통해 만든다고 한다.
소재공정실험 핵심 주제 요약본 3페이지

포토레지스트(Photoresist) 조사 6. ... 레포트 위주로 그리기) 4) 반도체 레포트 2개 Photoregist(포토레지스트 ... 영상 보기(8대 공정) 재료에서 가장 중요한 공정에 대하여 공부 6) 포토레지스트
광감성 포토레지스트를 이용한 패턴형성 16페이지

Photoresist ………………… 8 (1) 포토레지스트란 ………………… ... 8 (2) 포토레지스트의 종류 ………………… 8 (3) Application ... 때 현상된 형상이 떨어져 나가므로 포토레지스트의 접착력은 중요하다.
숭실대 Photo-lithography 예비보고서 2페이지

빛을 이용한 포토마스크에서 기판의 감광성을 이용하여 화학 포토레지스트로 패턴을 ... 포토 마스크를 이용하여 포토레지스트에 원하는 패턴을 만들고 최종적으로는 기판에 ... 참고문헌 디스플레이공학 개론, 텍스트 북스, 김억수, 2014 반도체용 포토레지스트의
일본의 수출규제조치와 물류 (물류 과목 레포트) 2페이지

일본의 수출규제조치와 물류 3대 반도체 부품(고순도 불화수소, 포토레지스트 ... 또한 일본의 포토레지스트 기업 JSR 역시 영업이익이 27% 줄었고, 일본의 ... 공정에 쓰이는 EUV(극자외선)용 포토레지스트는 미국 기업인 듀폰의 공장을
Photoresist processing 4페이지

실리콘 기판의 깨끗한 표면에 포토레지스트 액을 스핀코팅, 스프레이 또는 담금으로서 ... 먼저 가공하고자 하는 시료 표면에 포토레지스트를 도포해서 건이온빔 x선 등을 ... photoresist의 분류 ---(4) 포토레지스트는 크게 Positive
[고려대학교] 역사는 어떻게 서술되는가 / A+ / 중간대체 리포트 / 달라진 한국, 일본 다루기 감상문 5페이지

인해 포괄적 수출 허가 대상에서 개별심사 대상 으로 전환된 3개 품목은 포토레지스트 ... Polyimide)이다. 2018년 기준 한국의 품목별 일본 수입 비중은 각각 포토레지스트
반도체 하드마스크 SOH 레포트 10페이지

포토레지스트 패턴을 mask로하여 재료층을 식각하는 과정을 포함된다. ... 층을 코팅하고 노광 및 현상을 하여 포토레지스트 패턴을 형성한 후, 상기 ... 이에 따라 식각하고자 하는 재료층과 포토레지스트 층 사이에 비정질 탄소층(
반도체 정리 18페이지

Spin On Glass)등과 같은 일정한 점도를 갖는 점액질의 물질을 포토레지스트 ... 의미한다 MOS 캐퍼시터에서는 게이트에 문턱 전ilazane)처리 : 포토레지스트가 ... 접착력을 향상시키고 유기 용매로 인한 마스크의 오염을 방지할 수 있으며 포토레지스트의
한일 무역 분쟁과 미래 4페이지

삼성전자의 경우, 반도체 공정에서 핵심으로 꼽히는 포토레지스트의 국산화에 ... 나서고 있으며 한국과학기술연구원(KIST)은 아예 포토레지스트를 대체할 수 ... 초고순도 기체 불화수소 국산화), 2021년 3월, 동진쎄미켐(불화아르곤 포토레지스트
[소감문] 1, 2, 3강 Applications of Carbon Nanotubes, Photomask technology, Oxide TFT Technology for AMOLED 2페이지

, 빛을 받은 부분이 그대로 남아 있으면 Negative 포토레지스트란? ... : 포토레지스트에 따라서, 기판에 빛을 쪼인 부분이 없어지면 Positive
한일 무역전쟁에 대해서 4페이지

특히 플루오린 폴리이미드, 포토레지스트, 애칭가스, 고순도 불화수소 등은 ... 있다는 점을 이유로 한국의 첨단산업 공정에 필요한 플루오린 폴리이미드, 포토레지스트 ... 계기로 한국의 캐시카우 역할을 하는 첨단산업에 주요 소재라고 할 수 있는 포토레지스트