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항온항습과 공기청정

*완*
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최초 등록일
2010.06.11
최종 저작일
2010.03
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소개글

항온항습과 공기청정

목차

클린룸정의
클린룸의등급(청정도)
공기청정도기준법
대기중입자크기
각분야별청정도기준
클린룸기류속도
청정실공기
청정실부속장치
종이역할의변화
입자포집메카니즘
.
.

본문내용

클린룸정의
21세기첨단산업분야의연구개발과생산공정에서중대한방해를초래하는공기중의부유입자를제거한공간을청정실이라고하며미국등지에서는White Room 이라고도한다. 청정실은공기부유입자의농도를명시된청정도수준한계이내로제어하여오염제어가행해지는공간으로공기속에부유한입자뿐만아니라필요에따라온도, 습도, 기류, 실내압, 조도, 소음, 진동등의환경조성에대해서도제어및관리가행하여진다.

클린룸의등급(청정도)
공기청정도는0.5㎛이상입자가1ft³중에몇개포함되어있는가에따라CLASS로표시한다. 청정실의청정도클래스는클래스M1, 클래스M10, 클래스M1,000, 클래스M10,000, 클래스M100,000, 클래스M1,000,000, 클래스M10,000,000으로표기한다. 각청정도클래스가대상으로하는입자크기범위및상한농도는표와같다

공기청정도기준법
미국조달청(General Services Administration)은청정실과청정지역내의입자상물질의오염정도에대한표준청정등급을미국연방기준209D(FED-STD-209D)로제정했다. 이기준은공기청정도에대한모니터링및청정등급결정에관한방법을기술하고있으며, 공기오염물질의제어에영향을미치는다양한인자들에대해서도언급하고있으나, 공기오염물질의물리적, 화학적, 생물학적, 방사능적특성을언급하지않고있고, 또한청정실에서작업하는근로자에대한산업보건학적인측면도언급하지않고있다.
대기중입자크기
대기중에떠도는입자들은대체로실조각, 모래입자, 금속분진, 사람피부의분진, 담배연기뿐만아니라박테리아,바이러스,곰팡이와같은미생물등매우작은물체이며, 그입자들의크기는0.001㎛에서100㎛정도까지대기중에광범위하게포함하고있다. 특히공기오염이있는대도시에서는1㎥(35.3 ft³)의공기중에0.5㎛이상의입자가약3억개존재한다고한다.

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