칸티레버 센서
- 최초 등록일
- 2010.06.03
- 최종 저작일
- 2010.04
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소개글
칸티레버 센서에 대한 ppt입니다^^
15페이지 정도의 짧은 분량입니다.
목차
칸티레버란?
칸티레버 센서의 구동 원리
칸티레버 센서의 응용
칸티레버 센서의 연구 동향
칸티레버 센서의 문제점
칸티레버 센서의 전망
References
본문내용
칸디레버 센서란?
형광표지 없이 타겟물질을 검출할 수 있는 비표지식 센서
초소형 Array 구조, 복수 타겟 검출
수정 진동자 저울, 표면 플라즈몬 공명 장치보다 민감도 높음
기체, 이온 및 바이오 센서로 이용
극미량의 샘플의 열 기계적 특성 및 분광 분석장치의 검출기, 초미세 분석기기로 이용
칸티레버의 공명진동수는 흡착된 분자 무게의 제곱근에 반비례하기 때문에 흡착 전후 공유진동수 변화 측정하면 흡착 유무 및 흡착량 측정
동적, 정적 모드 모두 광학적, 전기적 방법 측정 가능
광학적 측정방법- 칸티레버 끝에 레이저 빔을 조사하고, 반사된 레이저 빔의 위치를 위상 광 검출기(PSD)로 측정한 후 칸티레버의 최대 휘어짐을 계산
- PSD: 광 신호를 전기적인 신호로 변환해주는 광 검출기
PSD를 이용하면 칸티레버가 휘어지는 것을 나노미터 수준으로 측정, 노이즈의 스펙트럼 분석을 통하여 공명진동수 변화도 함께 얻을 수 있음
참고 자료
포항공과대학교 화학공학과 지능형 물질 및 센서 연구실 전상민 ‘나노 역학적 칸틸레버 센서 ‘
성균관대학교 신소재공학 Homepage - MEMS소개
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