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[플라즈마물리] 글로우 방전(Glow Discharge) 이론

*earch*
최초 등록일
2002.04.23
최종 저작일
2002.04
6페이지/한글파일 한컴오피스
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목차

글로우 방전(Glow Discharge) 이론
가스 방전
글로우 방전
글로우 방전 분광 분석기(GDS) 의 구성
글로우 방전의 현재까지의 연구 동향

본문내용

가스 방전

충분히 높은 전압을 가스 매체 내에 있는 두 전극에 걸어 주게 되면, 그 매체의 원자 및 분자 들은 전기적으로 분해되어 전자-이온쌍을 형성 하고 전류가 흐르게 된다.이렇게 가스 매체를 통해 흐르는 전류를 방전 또는 플라스마라 한다. 방전에 의하여 가스가 breakdown된다는 것 은 10 14 ohms.m 의 저항력을 갖고 있는 낮은 전기 전도체로부터 10 3 ohms.m 정도의 저항력을 갖는 전도체로 가스상태가 변한다. 이러한 변환이 일어나는 두 전극간의 전위차를 breakdown potential(Vb)라 부르고 가스, 전극물질의 종류 및 전극간의 거리, 가스 밀도, 이온화 정도에 따 라 다르다. 가스의 분해로 양이온과 음으로 전하를 띠는 전자들이 생성되면, 전극들 사이에 생성되는 전기장이 양과 음으로 하전 된 이온과 전자들을 각각 음극 및 양극으로 가속화 되도 록 한다. 방전관 내의 방전 가스들과의 충돌과정을 통해 전하 입자들이 더욱 생성된다. 이 지점 에서 방전은 보통 분해 전압(breakdown voltage) 보다 낮은 적당한 전압 V n 이 계속 되며 이것 을 self-sustaining voltage 라 한다.

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