면저항 측정기(4-point probe)의 이해

소개글

웨이퍼 위에 증착된 물질의 면저항을 측정하고 면저항 측정기의 원리를 이해한다.

목차

1.실험제목
2.실험목적
3.실험방법
4. 실험 장비 및 소모품
5.이론적 배경
6.결과
7.고찰
8.결론
9.참고문헌

본문내용

1.실험제목
-면저항 측정기(4-point probe)의 이해

2.실험목적
-웨이퍼 위에 증착된 물질의 면저항을 측정하고 면저항 측정기의 원리를 이해한다.

3.실험방법
-(1)웨이퍼 위에 박막으로 물질을 증착한다.
(2)시편을 전달 후 면저항을 측정한다.
(3)각 시료의 면저항을 비교하여 본다.

4. 실험 장비 및 소모품
-증착된 웨이퍼, 컷터기, 면저항 측정기(CMT-SR1000N)

5.이론적 배경
-1. 면저항 (ohm/sq = Ω/□ = Sheet resistance)이란?
면저항은 단위 ohm/sq로 표시됩니다. 여기서 sq는 ㅁ로도 표시되며, 미터법(cm2 등)이 아닌 별도의 단위로서, 무한대의 면적으로 해석하는 것이 일반적입니다. 선저항은 두개의 probe로 임의의 거리에 대한 저항을 측정하지만, 면저항의 경우에는 동일한 간격의 4개탐침으로 측정하게 됩니다.
이때 쓰이는 Probe가 4 point probe이고, 일반적으로 탐침은 1mm간격으로 일렬구성된 probe를 사용하며, 4개의 탐침으로 전류와 전압을 측정하여, 저항값을 구한 후, 면저항 단위인 ohm/sq로 계산하기 위해 보정계수(C.F)를 적용합니다. 면저항값은 Wafer, LCD, 태양전지(Solar cell), 연료전지, OLED 등의 벌크 및 박막의 전도성을 검사하기 위하여 쓰입니다.

참고 자료

- www.fpp.co.kr