Transmission Electron Microscopy(TEM) 투과 전자 현미경의 원리 및 분석 방법

소개글

Transmission Electron Microscopy(TEM) 원리 및 분석 방법 대해 기술한 자료 입니다.

목차

Introduction
TEM의 구성
TEM의 특징
Illuminating system
Imaging system
Bright-Field Image
Dark-Field Image
Diffraction pattern
Diffraction pattern 분석

본문내용

<투과전자현미경의 개요>
고에너지를 가진 전자가 얇은 시편에 입사되어 투과된 전자의 위상과 강도에 의하여 영상이 형성되는 현상을 이용하는 방법
회절 constrast – 시료내부의 구조적인 정보
회절 패턴 – 결정학적 구조
특성 X-선 – 화학적 조성에 관한 정량적 정보
전자파와 결정이 상호 작용하는 과정과 그 결과 발생하는 회절현상에 관한 이해
전자파가 자기렌즈를 지날때 발생하는 영상에 관한 이해(역격자에 대한 이해)

<TEM 특징>
1. High lateral spatial resolution(better 0.2nm “point –to- point”
2. Capability to provide both image and diffraction information from single sample
2.A focused electron beam is incident on a thin film(less than 200nm)sample
4.The signal is obtained from undeflected and deflected electron that penetrate the sample thickness
5.Magnetic lenses at and below the sample position are responsible for delivering the signal to a detector
6.the remarkable magnification is facilitated by the small wavelength of the incident electrons, and is the key to the unique capabilities associated with TEM analysis

참고 자료

없음