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마이크로열유체-MEMS

*기*
최초 등록일
2008.09.13
최종 저작일
2006.11
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소개글

마이크로열유체-MEMS

목차

1. MEMS 란?

2. MEMS의 기술개요

3. MEMS 가공기술

4. MEMS 재료

5. MEMS 설계특징

6. 결 론

본문내용

1. MEMS란?

입체적인 미세구조와 회로,센서와 액추에이터를

실리콘 기판 위에 집적화 시킨 것으로 소형이면

서도 복잡하여 고도의 동작을 하는 시스템

마이크로시스템이나 마이크로머신 등으로 불림

MEMS는 반도체 집접회로의 구조 기술을

기본으로 함

장점: 소형화, 집적화, 저전력, 저가격

참고 자료

없음
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