투과전자현미경

소개글

투과전자현미경은 전자빔을 시료에 조사하여 투과된 전자빔으로 영상을 얻고 회절된전자빔으로 얻어진 회절 도형으로 상의 결정 구조를 해석하는 현미경이다.

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본문내용

투과전자현미경은 전자빔을 시료에 조사하여 투과된 전자빔으로 영상을 얻고 회절된전자빔으로 얻어진 회절 도형으로 상의 결정 구조를 해석하는 현미경이다. 그림4-1에서처럼투과전자현미경은 주사전자현미경과 같이 전자총에서 전자를 발생하여 고압으로 가속된전자빔을 집속렌즈로 모아서 시편에 투과시켜 대물렌즈로 상을 만들어 중간렌즈로 확대하여 형 광판에 영상이 맺히도록 구성되었다. 일반적인 투과전자현미경의 경우 최대 배율이 100만배 까지 확대가 가능하며 현대에 와서는 주사전자현미경의 기능을 추가하여 STEM(Scanning Transmission Electron Microscope)으로 주로 사용된다. 그리고 EDS나 EELS(Electron Energy Loss Spectroscope) 같은 성분분석장치를 부착하여 미소부위의 성분분석이 더욱 용 이하게 되었다. 그림4-2는 모든 주변장치를 갖춘 최신형 분석 투과전자현미경의 기기 구성 도이다.

4-1. 명시야상((BFI:Bright Field Image)과 암시야상(DFI:Dark Field Image)
투과전자현미경의 영상은 전자빔이 시료를 투과하면 Bragg법칙에 의해 회절하여 후방초 점면(Back Focal Plane )에 회절도형(Diffraction Pattern )을 만드는데 회절하지 않은 가운 데의 투과빔만을 대물조리개(Objective Aperture )로 선택하여 관찰하는 명시야상(Bright Field Image : BFI )과 특정면에서 회절한 회절빔만을 선택하여 관찰하는 암시야상(Dark Field Image : DFI )의 두 종류가 있다.

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