스핀코팅 이론

소개글

스핀코팅법은 지난 수십 년 동안 반도체 공정의 다양한 분야에서 사용되어져 왔으며 근래에 이르러 유기물을 이용한 박막공정의 응용으로써 연구 개발되고 있다. 스핀코팅법은 일반적으로 시료의 중앙에 용액상태의 재료를 도포하고 고속(약 3000 rpm 이상)으로 회전시켜 건조시킴으로써 박막을 성장시킨다.
위 자료에서는 스핀코팅 공정법 및 스핀코팅에 관한 이론과 공정과정중 유의해야할 사항 및 일반적인 박막 성장 경향에 대한 분석을 나타내었으며 점도에 관한 내용을 첨부하였다.

목차

스핀코팅법 (Spin-coating theory)
스핀코팅 공정 (Spin coating process)
회전속도 (Spin Speed)
가속 (Acceleration)
건조 (Fume Exhaust)
박막 성장 경향 (Process Tend)
문제해결 (Troubleshooting)
점도의 정의
점도의 종류
흐름에 따른 점도의 분류

본문내용

스핀코팅법 (Spin-coating theory)

스핀코팅법은 지난 수십 년 동안 반도체 공정의 다양한 분야에서 사용되어져 왔으며 근래에 이르러 유기물을 이용한 박막공정의 응용으로써 연구 개발되고 있다. 스핀코팅법은 일반적으로 시료의 중앙에 용액상태의 재료를 도포하고 고속(약 3000 rpm 이상)으로 회전시켜 건조시킴으로써 박막을 성장시킨다.
원심력을 이용하여 용액이 시료 전체에 고루 퍼지게 하고 박막제작에 필요이상의 용액을 시료로부터 떨어뜨린다. 박막의 두께와 그 밖에 다른 특성들은 용액의 본질적인 성향이나 스핀공정에 관한 회전속도, 가속도, 건조 시간, 온도 등의 변수들에 의존하게 되는데 이 같은 변수들은 코팅된 박막의 특성이 어떻게 정의되는가를 결정 짖는다.
회전공정에 있어서 가장 염두 해 두어야 하는 문제가 바로 스핀코팅 공정에 따라 박막이 갖는 특성들의 재현성 문제이다. 아주 미세한 변수의 차이가 성장된 박막의 큰 이변을 불러일으킬 수 있기 때문이다.

스핀코팅 공정 (Spin coating process)

아래 스핀코팅법의 공정 순서를 간략하게 설명하였다.
그림 . 스핀코팅 공정 과정

일반적인 스핀코팅법은 다음의 4가지 단계로 구성되어 있다.

1. 시료를 척 위에 올려놓고 진공을 뽑아 고정시킨다.
2. 시료위에 용액을 도포 시킨다.
3. 시료를 고속으로 회전시킨다.
4. 용매를 오븐 또는 핫플레이트 올려놓고 증발시킨다

참고 자료

없음