Sputtering

소개글

Sputtering이란 박막기술에 대해 조사

목차

1. Sputtering 이란?
2. Sputtering 원리
3. Sputtering 특징
4. Sputtering 종류
5. Sputtering 응용분야
6. 결론

본문내용

Sputtering 이란?
입자가 물질의 원자간 결합에너지
보다 큰 운동에너지로 충돌할
경우 입자 충격에 의해 물질의 격
자 간 원자가 다른 위치로 밀리게
되는데 이때 원자의 표면 탈출이
발생하게 되는 현상


Sputtering은 증착속도가 낮아 그 응용이 제한 되어 왔음
그러한 문제점이 개선되어 전자산업등 여러 분야에 응용범위가
확대되고 있음
현재 산업체에서 가장 보편적으로 이용되고 있는 박막제조 장치
이고 비교적 경제적이며, 양질의 박막을 제조할 수 있는 공정
특히 전기도금 방식 등 여타의 표면처리 공정에 비하여 환경 친화
적 이기 때문에 향후 높은 성장이 예상

참고 자료

없음