[공학]SEM sample 제작법

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SEM 시료제작법

목차

기본적인 SEM 시료 처리순서
시료제작법

본문내용

기본적인 SEM 시료 처리순서
1. vial에 Labelling
2. fixative를 vial에 채운다 ( 2.5% glutaldehyde in buffer )
3. 조직을 세절
4. washing ( saline or buffer ) 후 immersion ( prefixation ) 4시간 - overnight
5. rinsing ( buffer ) 15분씩 x2
6. postfixation ( OsO4 ) 2시간 x 1 or 2회
7. dehydration ( 60 - 100 % ethanol ) 10 - 20분
8. isoamyl acetate에 치환
9. drying ( critical point dry, Air dry, HMDS(TMS) 등 시약으로 처리 후 건조 )
10. 시료대부착
11. ion coating( Au, Pt)
12. 관찰 및 촬영
13. negative film 현상
14. 사진 확대 및 인화

시료제작법
시편은 보통 금속(대개 알루미늄)으로 만든 원통형에 holder에 고정되고 입사 전자빔이 시편과 충돌할 때 발생하는 고전압의 정전하를 방지하기 위하여 적절히 접지되도록 고정된다. 대부분의 SEM은 시편을 회전시키거나 x, y, z축 방향으로 이동시킬 수 있도록 조절이 가능하며 특정 detector에 의해서 전자들의 취합이 용이하도록 시편의 기울기도 조절이 가능하다. 이와 같은 조절의 적절한 조합은 관찰하고자 하는 부위를 정확히 위치시키도록 할 수 있을 뿐만 아니라 magnification, contrast, resolution, depth of field등에도 영향을 미친다. 따라서 관찰한 시편의 영상이 좋지 않을 경우에는 시편의 방향을 재조정하여 영상의 질을 향상시킬 수 있다.

참고 자료

없음