[진공]진공도

소개글

진공도에 따라 진공을 잡는 법(사용되는 펌프)을 정리한 제출용 리포트.

목차

<진공도란>
<진공단위 환산표>
<진공도에 따른 영역 구분>
<몇 가지 진공 펌프들의 원리 (진공 잡는 법)>

본문내용

<몇 가지 진공 펌프들의 원리 (진공 잡는 법)>

1. 로타리 베인 펌프

일반적으로 가장 많이 쓰이는 진공펌프이다. 내부 구조가 로터 베인 및 실린더로 되어 있는데, 로터의 중심과 실린더의 중심은 편심되어 있다.
베인은 스프링 또는 원심력에 의해서 실린더 내면에 밀착된 상태로 돌아가게 되는데, 이때 베인과 베인 사이에 공간이 새기게 되고, 이 공간은 로터의 회전에 따라 용적이 달라지게 된다.
한쪽 베인이 흡기부를 지나면서 공간의 용적은 점차 커지게 되고 ,다음 베인이 흡기부 끝단을 통과할 때 공간용적은 최대가 된다. 이렇게 하여 흡기부로부터 빨아들인 공기는 다음 단계에서 압축이 되고 이것이 배기부를 지나면서 배출이 된다.
로타리 베인 펌프의 최대 진공도는 1+10Torr정도의 영역에 그치고 있으나, 루츠펌프 및 확산펌프와 연결되어 고진공이 요구되는 공정에도 다양하게 쓰이고 있으므로, 오늘날 산업 전반에 걸쳐 가장 널리 쓰이고 있는 기종이라 할 수 있다.

2.로타리 피스톤 펌프

흔히 "키니펌프"라 불리어지고 있는 펌프.
실린더의 중심과 편심이 되어있는 로터가 실린더의 축을 중심으로 캠운동을 하고 있고, 피스톤이 로터의 표면에 밀착된 상태로 왕복운동을 하면서 실린더가 두 개의 공간으로 분할된다. 이 공간의 용적이 로터의 회전에 따라 수축, 확장을 반복하면서 공기를 흡입한 후 이를 다시 압축시켜 배출하는 것.
로타리 피스톤 펌프의 최대 진공도도 로타리 베인펌프와 거의 비슷하나, 회전수가 동일한 경우 로타리 베인 타입 보다 흡입주기가 길게 되어 진공 발생의 진동이 크게 되는 단점이 있다. 그러나 로터의 밀봉 작용이 베인의 경우보다 좋으므로, 수분이나 먼지 등에 의한 진공도 저하가 적어 흡기 상태가 악조건인 경우에도 우수한 성능을 발휘한다.

참고 자료

없음