[재료공학]DC Sputtering시 진공펌프의 종류

소개글

DC Sputtering은 LCD제조에 있어서 아주 중요한 공정 중의 하나이다.DC Sputtering시에는 전자의 이동을 용이하게 하기 위해서 진공상태를 만들어줘야 하는데,거기에 필요한 진공펌프의 종류에 대해서 조사하였다.

목차

1.서론
2.펌프의 종류
3.펌프의 기본원리
4.로타리 베인 펌프
5.부스터 펌프
6.확산 펌프
7.크라이오 펌프
8.터보분자 펌프

본문내용

1.로타리 베인 펌프
일반적으로 가장 많이 쓰이는 진공펌프로, 기본원리는 옆의 그림과 같다. 그림에서 보면 내부 구조가 로타 베인 및 실린더로 되어 있는데, 로타의 중심과 실린더의 중심은편심되어 있다.베인은 스프링 또는 원심력에 의해서 실린더 내면에 밀착된 상태로 돌아가게 되는데, 이때 베인과 베인 사이에 공간이 생기게 되고, 이 공간은 로타의 회전에 따라 용적이 달라지게 된다.

참고 자료

없음