[진공 펌프] 각종 진공펌프와 장단점

소개글

여러가지 진공펌프의 그림과 장단점이 들어있는
래포트 입니다//

목차

1. 확산 펌프 시스템
2. 터보 분자 펌프 시스템
3. 크라이오 펌프 시스템
4. 부스터/송풍기 시스템
5. 이온 펌프 시스템
6. 기계적 펌프 시스템

본문내용

1. 확산 펌프 시스템
⋅장점 : 간편/ 신뢰성, 고속, 일정한 속도, 높은 쓰루푸트, 연속동작, 값이 싸다, 오염에 잘 견딘다, 움직이는 부분이 없다, 작은 것과 큰 사이즈가 있다
⋅단점 : 오일 역류성, 기계적 펌프가 필요, 크라이오 트랩에 가 필 요, 운영비용이 비싸다, 사고가 나기 쉽다, 수직으로 설치되 어야 한다, 적당한 동작이 중요, 이상

2. 터보 분자 펌프 시스템
⋅장점 : 덤핑으로부터 빨리 복구, 스타트가 빠르다, 일정한 속도, 오일 을 사용하지 않아 깨끗하다, 운영비용이 싸다, 높은 쓰루푸 트, 오염에 잘 견딘다, 작은 것과 큰 사이즈가 있다
⋅단점 : 입자에 민감, 기계적 펌프가 필요, 높은 rpm(소음/진동), 수소 와 헬륨에 대해서 저속, 유지 보수비용이 비싸다, 이상, 초기 설치비가 비싸다

참고 자료

없음