[반도체(Plasma)] 플라즈마 기술에 대한 보고서

소개글

SETEC에서 실시된 Plasma 기초 교육에 대한 Report

목차

A. PLASMA 란
B. PLASMA의 특성 (I)
C. PLASMA의 특성 (II)
D. 전자 Energy는 Plasma에서 어떻게 운반되는가?
F. PLASMA SHEATH 의미
G. PLASMA내의 충돌 현상 정리
H. PLASMA 응용 PROCESS
I. RF MATCHING SYSTEM
J. 기초 전자 회로이론(L.R.C)
K. 스미스 차트(Smith chart)

본문내용

A. PLASMA 란?

*PLASMA의 개념
- 물질의 상태 : 고체, 액체, 기체, PLASMA 상태(제4의 상태)
- PLASMA : 하전 입자들의 모임,COLLECTIVE BEHAVIOR(집단운동) 성향,준 중성상태를 띈다
Ni(이온밀도) = Ne(전자밀도) 의 조건을 만족 한다.
* 스미스 차트 해석 연습
EX) 부하를 L 이 직렬로 연결되며 그 앞 단에 C 가 병렬로 접속 되어 있음.
1.부하에 직렬로 연결된 L은 차트상 Z 범위의 시계방향으로 움직인다.
2.L 뒷 단에 병렬로 접속된 C 는 차트상 A 범위를 반시계 방향으로 움직인다.

참고 자료

SETEC_교육 자료