[재료공학실험] 표면 분석 장치 XPS와 XPS 내에 작동하는 네가지 펌프

소개글

재료공학실험 중 표면 분석에 관한 것과 거기에 필요한 실험기구 내부에 쓰이는 펌프에 관한 사진, 작동원리 등이 상세하게 들어 있습니다.

목차

<< 표면분석 장치 - XPS >>

<< XPS 내에 작동하는 네가지 펌프>>
1.펌프의 종류 및 선택
2.로타리 펌프
3.터보 분자 펌프
4.이오 펌프
5.티타늄 승화 펌프

본문내용

따라서, 사용하는 오일의 증기압이 낮아야 좀더 낮은 압력까지 내릴 수 있고 또한 역류(backstream)로 인한 진공용기나 진공과정의 오염도 줄일 수 있다. 그리고 펌프를 장시간 멈출 때는 반드시 펌프를 진공해제(vent)하는 것이 좋다. 그리고 펌프의 배출구 쪽에서는 배기된 기체뿐만 아니라 펌프오일이 증기 또는 작은 입자 형태(oil mist)로 계속 나오기 때문에 fume hood를 이용해 배출하거나 또는 긴 튜브 등을 이용하여 실험실 바깥으로 내보내야 한다. 부득이 실내에서 방출하여야 할 경우에는 방출되는 기체에 의한 안전상의 이상 유무를 확인해야 하고, 펌프오일은 oil mist trap(oil mist filter)을 사용하여 제거하여야 대기 오염을 방지할 수 있다. 그리고 입자가 많이 포함된 기체를 배기할 경우에는 먼지 필터(dust filter)를 진공용기와 펌프 사이에 설치하여야 펌프를 보호할 수 있다.

참고 자료

http://100.naver.com/100.php?where=100&id=127269
http://www.happynzine.com/old/VACU/va2-3.htm
http://bh.knu.ac.kr/%7Ecmk/Research/exp.htm
http://chiral.kist.re.kr/team/dynamics/Project/turbo.htm
http://www.happynzine.com/old/VACU/va2-2.htm
http://kovra.or.kr/board/file/pds/Highvacuumpumps.doc
http://www.ulvackorea.co.kr/technology/introduction.html#intro6