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[반도체 관련 장비] 스퍼터 원리와 DC,RF 스퍼터

*소*
최초 등록일
2004.12.06
최종 저작일
2004.11
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소개글

스퍼터 관련 간단 명료하고 핵심만 있는 자료입니다

목차

1. 정의

2. 종류

본문내용

스퍼터링은 높은 에너지를 갖는 미립자들에 의한 충돌에 의해 타겟(target)이라고 불리워지는 물질의 표면으로부터 원자들이 떨어져나오는 메커니즘으로 설명되어질 수 있다. 이 증착 방법은 Al, Al 합금, Pt, Au, Ti:W, 그리고 W과 같은 금속 박막의 증착에 많이 사용되며 이 외에도 SiO2와 같은 비전도성 물질의 증착에도 사용할 수 있다. 이러한 스퍼터링의 장단점을 표 1에 나타내었다.

참고 자료

기타 반도체 관련 서적..

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