[신소재공학] SEM에관하여

목차

1. SE(Secondary Electron)와 BSE(Backscattered Eletron)의 차이와 장단점
2. 가속전압
3. 집속렌즈(condenser lens)의 세기
4.대물렌즈 조리개의 크기

본문내용

①가속전압이 일반 전자 현미경보다 높은 고압 투과 전자 현미경은 값은 고가이나 다음과 같은 여러 장점들이 있다. 가속 전자의 에너지가 증가함에 따라 전자가 투과할수 있는 시편의 두께가 더 커진다. 따라서 시편을 얇게 준비하기가 어려운 시편이나 두꺼운 시편들을 관찰할 수 있다. 가속 전압이 2.5MeV인 경우 경원소 재료의 시편 두께 14㎛까지 관찰 가능하고, 1MeV인 경우 중원소 재료의 시편두께 3㎛까지 관찰 가능하다. 전자 현미경의 분해능은 파장의 3/4승에 따라 비례하므로, 파장이 짧아짐에 따라 현미경의 분해능도 크게 향상된다. 결정에서 가속 전압을 낮은 전압에서 높은 전압으로 차츰 변화시키면 여러 빔의 동력학전인 상호 작용 때문에 2차 또는 고차 회절 점에서의 강도가 최소가 되는 전압이 생기는데 이를 임계 전압효과라 하고 이 전압은 결정면 간격, 디바이 온도와 구조 인자에 따라 민감하게 변화한다. 임계 전압을 측정하면 미소 영역의 성분, 산란 인자 및 디바이 온도 등을 알아 낼 수 있어 재료의 상 변태 연구를 할 수 있다. 전자의 에너지가 크기 때문에 시편에 결정 결함을 만들 수 있어 원자로에서 일어나는 현상을 시뮬레이션 할 수 있다. 1 MeV의 에너지로 철 시편에 1분조사하면 원자로에서 450일간 조사된 시편에서와 같은 효과를 볼 수 있다. 또한 에너지가 증가함에 따라 이온화 손상을 줄일 수 있고, 전자 빔의 밝기가 향상되고 x-선 분석이나 전자 에너지 손실 분석을 더 정확히 할 수 있는 장점이 있다. 또한 가속 전압이 증가함에 따라 대물 렌즈의 초점거리가 증가하여 렌즈에서 시편이 들어 갈 수 있는 공간이 확대되어 시편을 큰 각도로 기울이거나 인장, 가열, 냉각, 기체와의 반응 등 여러 시편 조작을 할 수 있다.

참고 자료

없음