[화공재료] 집적회로

등록일 2003.10.31 MS 파워포인트 (ppt) | 19페이지 | 가격 1,000원

목차

서론
본론
단결정의 제조
웨이퍼의 제조
에피텍시얼층의 성장
산 화 막 형 성
감광제 도포
마스크 제작
마스킹 공정
에칭
불순물 선택확산공정
도선증착
검사 및 포장
결론

본문내용

정의 : 많은 전자회로 소자가 하나의 기판 위 또는 기판 자체에 분리가 불가능한 상태로 결합되어 있는 초소형 구조의 기능적인 복합적 전자소자 또는 시스템.
종류 : LSI (대규모 집적회로), VLSI(초대규모 집적회로)
이상과 같이 해서 집적회로의 가장 기본적인 원리에 대해 알아보았습니다.

무엇보다도 중요한 것은 이상과 같은 공정들이 행해지고 있는 시설 전체의 청정도로서 특히 class10이하가 되어야 되어야 합니다.

청정도 뿐만 아니라 실내 온도를
항상 220.1 º C 를 유지해 줘야 한다.
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