박막증착

등록일 2003.10.24 | 최종수정일 2017.07.17 한글 (hwp) | 10페이지 | 가격 1,500원

목차

1.박막증착
cvd
Sputtering
sputtering
spining

2. 진공증착의 분류
Sputter deposition의 원리 및 특징
Sputter deposition의 장단점을 보면
Sputtered 박막의 구조
Bias Sputtering
DC Sputtering
RF sputtering
Reactive Sputtering

3. Direct and Indirect transition반도체
plasmon band gap

본문내용

박막 증착

반도체 소자나 집적회로의 제작에는 많은 종류의 박막( Thin film )이 증착된다. 이 박막을 증착 시키기 위한 대표적인 방법으로는 물리적으로 증착시키는 Evaporation, Sputtering, SOG( Spin on Glass ) 등과 화학적인 반응을 이용한 CVD( Chemical Vaper Deposition )가 있다.

cvd
증착하고 싶은 필름을 개스 형태로 웨이퍼 표면으로 이동시켜 개스의 반응으로 표면에 필름을 증착시키는 방법이다.

*장점
- 고순도 film 형성 가능
- 재료의 선택에 따라 각종 박막형성이 가능
- control 하기 쉽다
- 대량처리가 가능하다.

종류
APCVD(Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition)

- 760 torr , 400 C - 500 C에서 동작
- 간단한 반응노, 낮은 온도와 높은 증착률이 장점
- gas의 소비량이 많고 분순물 문제가 발생하기 쉽다.
*원하는 자료를 검색 해 보세요.
  • [반도체재료] 박막증착 10페이지
    증가시키는 광학용 재료제작, 전자부품의 반도체 코팅, 항공기나 미사일 부품의 ... 진공 증착법으로는 제작 곤란한 고융점 재료 또는, 활성 재료막을 조성 ... 층을 형성한다. 4. 진공 증착법의 특징 가. 이온 스커터링에 비하여 표적재료
  • 박막증착 (박막공정) 5페이지
    박막 증착 반도체 소자나 집적회로의 제작에는 많은 종류의 박막(Thin ... , 미세한 패턴을 형성하기도 쉽기 때문에 최근에는 CVD 방법이 반도체 ... 위해서 대개 진공 중에서 이루어진다. 박막 증착은 도금 물질계 및 응고
  • 금속 박막증착 10페이지
    기상증착) : 유기금속의 열분해반응을 이용해 반도체 기판상에 금속화합 ... 물을 퇴적, 부착시키는 화합물 반도체의 기상성장법 이다. MOCVD는 ... 화합물 반도체의 생성 편리성의 장점이 있다. 전형적인 MOCVD
  • 박막제조장비회사 조사 10페이지
    ) 반도체 소자의 박막 증착 장비 및 이를 이용하는 박막 증착방법 본 발명은 ... 반도체 소자의 박막 증착 장비 및 이를 이용하는 박막 증착 방법에 관한 ... 것으로, 본 발명의 반도체 소자의 박막 증착 장비는, 반응 챔버 내로
  • [공학]반도체 집적소자 제조 단위공정 실험 26페이지
    1. 실험제목 -반도체 집적소자 제조 단위공정 실험 2. 실험목적 -반도체 ... 도금이라고도 말하며 진공 증착법(vacuum metallizing), 음극 ... plating)의 세가지로 분류할 수 있다. A. 진공증착법 -진공증착법은 진공
  • 반도체란 무엇인가? 3페이지
    일이기도 하다. ▲ 반도체재료 반도체로 쓰이는 재료는 게르마늄과 ... 통해 박막을 형성하는 공정으로 반도체(Si,GaAs,SiC), 절연막 ... 선형적인 특성을 나타내는것을 음성접촉이라한다. 정류작용은 금속반도체
  • 나노소재를 이용한 유기박막 트랜지스터(OTFT)소자 28페이지
    2-5-1. 유기반도체 박막성막공정 ... 율이 커야하고, 표면이 평탄해야 하며, 유기반도체박막과 계면상태를 생성하지 ... : 1반도체에 대한 전기 전도도의 온도 의존성의 도식적 예[9] 이동도가 u
더보기
      최근 구매한 회원 학교정보 보기
      1. 최근 2주간 다운받은 회원수와 학교정보이며
         구매한 본인의 구매정보도 함께 표시됩니다.
      2. 매시 정각마다 업데이트 됩니다. (02:00 ~ 21:00)
      3. 구매자의 학교정보가 없는 경우 기타로 표시됩니다.
      4. 지식포인트 보유 시 지식포인트가 차감되며
         미보유 시 아이디당 1일 3회만 제공됩니다.
      상세하단 배너
      최근 본 자료더보기
      상세우측 배너
      상세우측 배너
      추천도서
      박막증착
      하나은행 통장 개설 이벤트 오늘 하루 보지 않기 닫기
      ?>
      닫기