[박막공학] 박막공학

목차

제1장 박막의 정의
1. 박 막
1-1 진 공
1-2 기체의 일반적인 성질
1-4 진공도
1-5 기체의 평균 자유 행정
1-6 유확산 펌프의 작동
1-7 압력의 측정
1-8 McLeod 게이지
1-9 Pirani 게이지와 열전대 게이지
1-10 열이온적 이온화 게이지

본문내용

제1장 박막의 정의

1. 박 막

박막은 일상생활에서 아주 오래 전부터 사용되어 졌다. 박막은 그 기계적 설질이 3차원 물체의 설질과는 판이하게 다르다.
- 박막의 강도는 열처리가 잘된 물체인 벌크에 비해 200배 이상으로 나타난다.
→ 박막은 표면 대 체적의 비에 있어서 표면이 아주 크기 때문에 여러 가지에서 체적의
특성과는 다르다.
- 입자들이 퍼져 있는 작은 섬들로 연결된 상태
→ 여러 가지 특성이 극단적일 때가 있다.

박막이란 전기적, 결정적 특성이 양 표면에 의해 지배되는 경우이고, 그 두께는 단원자층, 단분자층의 것에서부터 약 5μm 까지를 깆ㄴ으로 두나, 경우에 따라서는 그 한계가 달라질 수 있다.

1-1 진 공

(1) 진공(vacuum)
- ‘비어 있다’라는 뜻
- 용기 내의 공기가 펌프와 가튼 수단으로 배기되어 진공을 얻음
- 진공도 : 용기에서 얼마나 공기가 제거되었는가
- 현실적으로 용기 내의 물질을 완전히 제거한다는 것은 불가능 하다.

(2) 진공장치의 설치 목적
- 1 대기압에서 0 기압까지 용기 내의 압력을 만든다는 것이 진공장치의 설치 목적이다.
- 성취 불가능. 가깝게 되도록 하는 노력이 필요하다.

1-2 기체의 일반적인 성질