PVD & CVD

등록일 2003.10.13 한글 (hwp) | 10페이지 | 가격 500원

소개글

ㅎㅎ

목차

*진공 증착법(Vaccum Evaporation)
*이온 스퍼터링
*이온 도금
*화학적 증착법(CVD, Chemical Vaccum Deposition)
*플라즈마 보조 화학적 증착법

본문내용

♠ 화학적 증착법(CVD, Chemical Vaccum Deposition)

화학적 증착법은 진공 조건에서 화학반응에 의해 형성된 고체상이 피처리물 표면에 응축되어 피복층을 형성하게 하는 것으로, 전기도금에 비하여 공해문제가 전혀 없고 증착율도 다른 코팅법에 비하여 빠르고 피복층의 성장속도를 조절할 수 있어서 소재산업에 널리 이용되고 있다. 이 방법은 초기에는 화학반응을 고온도 분위기에서 행하는 열화학적 증착법(부분의 경우 이 방법을 화학적 증착법이라 칭하여 이후로 화학적 증착법이라 부름)이 이용되었으나 최근에는 전기방전에 의해 형성된 플라즈마를 이용한 저온도 증착법인 플라즈마 보조 화학적 증착법이 소개되어 특수한 분야에 응용되고 있다.

1. 작업 원리 및 과정

화학적 증착법(열촵화학적 증착법)은 진공실에 불어넣은 가스가 높은 온도로 가열된 피처리물 표면 또는 표면부근에 열분해되거나 반응성가스 간에 화학적 반응을 일으켜 생성되는 고체금속 혹은 화합물, 복합물이 피처리물 표면에 흡착, 축적되어 피복층을 형성하는 코팅과정이다. 피복시키고자 하는 물질은 가스상으로부터 직접 분해하거나, 수소가스 혹은 금속증기상으로 환원하는 열분해 반응에 의해 금속으로 얻거나, 화학반응에 의해 생성된 합금 또는 복합물 형태로 구하여진다.
*원하는 자료를 검색 해 보세요.
  • cvd 와 pvd의 특징과 비교 9페이지
    1.introduction 기상증착법 (Vapor Deposition)들은 아시다시피 크게 두 가지로 분류됩니다. 하나는 PVD (Physical Vapor Deposition)이고 다른 하나는 CVD (Chemical Vapor Deposition)입니다. 이 둘의 ..
  • [금속] cvd와 pvd 5페이지
    건식도금은 CVD(chemical vapor deposition)과 PVD(physical vapor deposition)으루 크게 분류할 수 있다. 건식도금기술은 소재(基板:기판에 엷은 금속 또는 금속화합물을 피복시킨다는 의미에서 박막(薄膜)제조기술(thin fil..
  • PVD와 CVD의 비교 및 분석 4페이지
    (Physical vapor deposition) PVD 공정은 생성하고자 하는 박막과 동일한 재료(Al, Ti, W, Pt등)의 입자를 진공중에서 여러 물리적인 방법에 의하여 기판 위에 증착시키는 기술을 말한다. - 특징 1. 기판의 온도를 자유롭게 선택 ..
  • pvd와 cvd 5페이지
    PVD (물리증착법 : Physical Vapor Deposition) PVD에 의한 코팅방법 물리 증착법 (Physical Vapor Deposition)은 코팅될 물질이 기체 상태로 변환되어 물리적 작용에 의해 모재위에 피복되는 방법이다. PVD에 의한 코팅법 종..
  • cvd pvd 10페이지
    ▶ CVD(chemical vapor deposition) ▷ CVD의 정의 박막과학과 기술은 중요한 산업으로 성장해 왔으며, 많은 연구의 대상이 되어왔다. 이유는 박막이 반도체의 제조에 중요하기 때문이다. 박막은 물리기상증착(Physical Vapor Depositi..
  • CVD, PVD, ALD의 비교와 UV-visible기기의 설명 및 원리 39페이지
    ..PAGE:1 CVD/PVD/ALD 비교 UV-visible설명 및 원리 ..PAGE:2 CVD, PVD, ALD 비교 CVD 장점 화학적 증착을 하기 때문에 PVD보다 기판에 대한 접착력이 강하다. 단차 도포성이 좋은 편이다. 막 quality가 좋은 편이다. 장치..
  • PVD와 CVD 6페이지
    ● PVD(Physical Vapor Deposition) ? 물리증착법 (PVD) 에 의한 코팅 1. 코팅방법 물리 증착법 (Physical Vapor Deposition)은 코팅될 물질이 기체 상태로 변환되어 물리적 작용에 의해 모재위에 피복되는 방법이라고 간단히..
더보기
      최근 구매한 회원 학교정보 보기
      1. 최근 2주간 다운받은 회원수와 학교정보이며
         구매한 본인의 구매정보도 함께 표시됩니다.
      2. 매시 정각마다 업데이트 됩니다. (02:00 ~ 21:00)
      3. 구매자의 학교정보가 없는 경우 기타로 표시됩니다.
      4. 지식포인트 보유 시 지식포인트가 차감되며
         미보유 시 아이디당 1일 3회만 제공됩니다.
      상세하단 배너
      최근 본 자료더보기
      상세우측 배너
      추천도서
      PVD & CVD