평가점수C

[화학공학,반도체공학,플라스마] 플라스마

등록일 2003.09.30 MS 파워포인트 (ppt) | 19페이지 | 가격 1,000원

소개글

화학공학과에서 다룰 수 있는 플라스마의 특성에 대한 내용과 반도체 공정에서의 플라스마를 설명한 텀 프로젝트 자료 입니다.
참고로 정말로 잘 정리한 자료 입니다.

목차

1플라스마정의
2 플라스마의 활용
3 플라스마의 발전소에의 응요
4 반도체에서의 플라스마의 활용
5 플라스마 에칭
6 건식 플라스마 에칭
7 습식 플라스마 에칭
8 플라스마 에칭의 단점
9 플라스마 기술의 전망

본문내용

2. 플라즈마의 특징
플라즈마는 전리하고 있지 않은 보통의 기체와 달리 여러 가지 특징을 갖고 있다.
① 하전 입자가 존재한다.
이온이나 전자등의 하전입자는 전하를 갖고 있기 때문에 전장이나 자장의 영향을 받으며, 전기적 전도성을 갖고 있어서 전류를 흐르게 하는 것도 가능하다.
② 높은 에너지, 고온을 가지고 있다.
1∼10억도의 플라즈마는 핵융합 반응을 일으키는 것이 가능하고, 1만도의 플라즈마에 의하여 물질을 급속히 고온가열하는 것이 가능하며, 플라즈마 용접, 절단, 플라즈마 용사등에 사용되고 있다.

3. 플라즈마의 역사
1835년 패러데이 Faraday ?방전관 내의 전리 기체가 보통의 기체와는 다른 특이한 성질을 가지고 있음. ?처음으로 실험실 내에서 만들어진, 수명이 길고 안정한 플라즈마 상태.
1879년 크룩스 Crooks ??방전 기체가 아주 두드러진 성질을 지닌 새로운 상태인 것을 강조하여 이러한 기체 상태를 "제 4의 물질 상태" 라고 표현.
1928년 랭뮤어 플라즈마라고 명명.
*원하는 자료를 검색 해 보세요.
  • [반도체공학]박막 재료의 표면처리 및 식각 실험 18페이지
    목 적 여러 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 ... 제거하기 위해서 사용되는 공정으로 반도체 공정 중 노광 ... 플래시 메모리의 데이터 보관원리는 반도체에 전자라는 물을 담기 위해 물
  • 습식에칭(Wet Etching) 20페이지
    . 화학과 연계성 2.2 에칭 폐액의 산 분리 기술 1 반도체나 액정 ... 세대 반도체에칭 공정의 개발도 필요 새로운 디자인의 플라스마 반응관에 ... . 기존 반도체 및 LCD 장비개발 과정에서 확보한 플라스마 원천기술
  • 새로운 재료 제거 가공 방법 아이디어 4페이지
    표면에서 이탈시켜 에칭하는 기술이다. 이 기술반도체 소자 초 ... Photolithography process ④용어 설명 * 에칭 반도체 ... 성 식각이 가능하다 ③응용분야 * 반도체 제조 공정에서 Al, Si, SiO2
  • 박막 에칭 16페이지
    공학 반도체공학 분야는 웨이퍼의 반도체 박막을 형상가공하는 기술에 응용되고 ... 온도에 따라서 에칭 속도가 변화된다. ○건식식각(dry etching) 반도체 ... 디바이스의 제작 기술에서 반도체 표면을 제거하는 방법의 하나
  • SiO2 박막의 식각 및 PR 제거 실험 예비 7페이지
    받아서 증폭하여 외부에 전달하게 된다. (7) 화학공학전공자가 반도체 ... 가지 전기 및 전자기기에 사용되는 반도체 소자의 제조공정은 박막재료의 세 ... . ③ 반도체 제조공정 1) 준비단계 - 단결정 성장 : 지역 용융으로
  • [공학]플라즈마의 첨단기술 응용분야 14페이지
    Planarization)과 플라즈마 에칭에 활발히 응용되고 있다. 현재 반도체 제조 공정 ... 방식은 뛰어난 이방성 에칭 특성을 갖는다. 실제 반도체 제조를 위한 ... 방전 플라즈마로서 반도체 공정에서 플라즈마 식각(plasma etch
  • [공학]플라즈마 12페이지
    SiN 박막 에칭플라스마 응용 가능성이 처음 제안되는 등 반도체 ... 반도체 공정설비로 자리를 굳혔다. 이렇게 도입된 PECVD 기술 ... 은 1970년대 후반부터 1980년대 초반까지 반도체 칩 제조에 있어 그 중요
더보기
      최근 구매한 회원 학교정보 보기
      1. 최근 2주간 다운받은 회원수와 학교정보이며
         구매한 본인의 구매정보도 함께 표시됩니다.
      2. 매시 정각마다 업데이트 됩니다. (02:00 ~ 21:00)
      3. 구매자의 학교정보가 없는 경우 기타로 표시됩니다.
      4. 지식포인트 보유 시 지식포인트가 차감되며
         미보유 시 아이디당 1일 3회만 제공됩니다.
      상세하단 배너
      최근 본 자료더보기
      상세우측 배너
      상세우측 배너
      상세우측 배너
      추천도서
      [화학공학,반도체공학,플라스마] 플라스마
      하나은행 통장 개설 이벤트 오늘 하루 보지 않기 닫기
      ?>
      닫기