[화학공학,반도체공학,플라스마] 플라스마

등록일 2003.09.30 MS 파워포인트 (ppt) | 19페이지 | 가격 1,000원

소개글

화학공학과에서 다룰 수 있는 플라스마의 특성에 대한 내용과 반도체 공정에서의 플라스마를 설명한 텀 프로젝트 자료 입니다.
참고로 정말로 잘 정리한 자료 입니다.

목차

1플라스마정의
2 플라스마의 활용
3 플라스마의 발전소에의 응요
4 반도체에서의 플라스마의 활용
5 플라스마 에칭
6 건식 플라스마 에칭
7 습식 플라스마 에칭
8 플라스마 에칭의 단점
9 플라스마 기술의 전망

본문내용

2. 플라즈마의 특징
플라즈마는 전리하고 있지 않은 보통의 기체와 달리 여러 가지 특징을 갖고 있다.
① 하전 입자가 존재한다.
이온이나 전자등의 하전입자는 전하를 갖고 있기 때문에 전장이나 자장의 영향을 받으며, 전기적 전도성을 갖고 있어서 전류를 흐르게 하는 것도 가능하다.
② 높은 에너지, 고온을 가지고 있다.
1∼10억도의 플라즈마는 핵융합 반응을 일으키는 것이 가능하고, 1만도의 플라즈마에 의하여 물질을 급속히 고온가열하는 것이 가능하며, 플라즈마 용접, 절단, 플라즈마 용사등에 사용되고 있다.

3. 플라즈마의 역사
1835년 패러데이 Faraday ?방전관 내의 전리 기체가 보통의 기체와는 다른 특이한 성질을 가지고 있음. ?처음으로 실험실 내에서 만들어진, 수명이 길고 안정한 플라즈마 상태.
1879년 크룩스 Crooks ??방전 기체가 아주 두드러진 성질을 지닌 새로운 상태인 것을 강조하여 이러한 기체 상태를 "제 4의 물질 상태" 라고 표현.
1928년 랭뮤어 플라즈마라고 명명.
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