[재료 금속 박막 증착] PVD CVD(박막)

저작시기 1997.01 |등록일 2003.09.12 한글 (hwp) | 19페이지 | 가격 1,200원

소개글

PVD,CVD,Sputter 등을 포함하여 박막증착의 모든것을 포괄적이면서도 자세하게 다루었습니다.

목차

◎ 박막과 박막 증착
● PVD
● 진공증착법
●Sputtering
★ (참고) Deposition rate를 감소시키는 요인
Triode Discharge Device
Magnetrons
◎ Electron motion under magnetic field
RF Sputtering
◎ CVD(Chemical Vapor Deposition)

1. CVD의 원리
2. CVD의 특징
3. CVD장치
4. CVD의 장단점

본문내용

● PVD
Thermal Evaporation
Ion-Plating
Sputtering
--- DC sputtering
--- RF sputtering
--- Magnetron sputtering
--- Bias sputteing
--- Reactive sputtering
--- Composite sputtering
--- Ion-Beam sputtering
--- ECR sputtering
◎ CVD(Chemical Vapor Deposition)
CVD(chemical vapor deposition) 화학증착 또는 그대로 기상도금이라고도 한다. CVD는 반도체의 제조공정에서 가장 중요한 기술의 하나이다. 역사적으로는 1920년대에 고순도의 금속을 얻는 방법으로 요오드(iodine)법 등이 등장했고, 1940년대부터는 고순도 게르마늄, 실리콘의 제조법 등의 반도체공업에 깊은 관계를 갖게 되었고 1970년대에는 반도체 집적기술의 발달과 더불어 고순도, 고품질의 박막형성에 없어서는 안 될 기술로 되었다.
*원하는 자료를 검색 해 보세요.
  • 진공 및 박막의 전제척인 개념 및 박막의 3가지 성장모델, CVD & PVD 비교 정리 8페이지
    <진공> 진공이란 ‘비어있다’라는 뜻이지만 실제로는 완전한 진공을 만들기가 매우 어렵기 때문에 보통 1/1000(10-3)㎜Hg 정도 이하의 저압을 진공이라 한다. 진공으로 만든 용기 내에 남아 있는 기체의 압력을 그때의 진공도라 하고 용기 내에서 얼마나 공기가 제거되..
  • 소재공정실험 박막 PVD와 CVD PPT [A+] 13페이지
    1. 증착 하려는 source material을 도가니에 넣고 가열.2. Source material이 기체상태가 되어 기판의 표면에 충돌.3. 충돌된 기체상태의 금속원자가 기판에 증착됨. 높은 에너지를 갖는 미립자들에 의한 충돌에 의해 target이라 불리는물질의 표..
  • cvd 와 pvd의 특징과 비교 9페이지
    1.introduction기상증착법 (Vapor Deposition)들은 아시다시피 크게 두 가지로 분류됩니다. 하나는 PVD (Physical Vapor Deposition)이고 다른 하나는 CVD (Chemical Vapor Deposition)입니다. 이 둘의 차..
  • PVD와 CVD의 비교 및 분석 4페이지
    PVD 공정은 생성하고자 하는 박막과 동일한 재료(Al, Ti, W, Pt등)의 입자를 진공중에서 여러 물리적인 방법에 의하여 기판 위에 증착시키는 기술을 말한다.- 특징1. 기판의 온도를 자유롭게 선택 가능하다.2. 화학반응은 거의 일어나지 않는다.3. 부착한 원자와..
  • cvd pvd 10페이지
    ▶ CVD(chemical vapor deposition)▷ CVD의 정의 박막과학과 기술은 중요한 산업으로 성장해 왔으며, 많은 연구의 대상이 되어왔다. 이유는 박막이 반도체의 제조에 중요하기 때문이다. 박막은 물리기상증착(Physical Vapor Deposi..
  • [박막공학] CVD의 모든것 12페이지
    1. CVD의 정의박막과학과 기술은 중요한 산업으로 성장해 왔으며, 많은 연구의 대상이 되어왔다. 이유는 박막이 반도체의 제조에 중요하기 때문이다. 박막은 물리기상증착(Physical Vapor Deposition)과 화학기상증착(Chamical Vapor Deposi..
  • CVD 와 PVD 코팅 22페이지
    *Coating의 정의 및 목적정의: 재료표면에 목적하는 성질을 지닌 물질을 입혀서 사용목적에 적합한 재료를 만드는 것목 적: 모재의 단점을 보완 및 특성 향상 (피복 내마모성 인성 내산화성) ☞코팅공구란 초경합금을 모재로 하고 그위에..
더보기
      최근 구매한 회원 학교정보 보기
      1. 최근 2주간 다운받은 회원수와 학교정보이며
         구매한 본인의 구매정보도 함께 표시됩니다.
      2. 매시 정각마다 업데이트 됩니다. (02:00 ~ 21:00)
      3. 구매자의 학교정보가 없는 경우 기타로 표시됩니다.
      최근 본 자료더보기
      추천도서