증착공정

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'증착'의 사전적 의미는'퇴적'이라는 뜻으로'쌓아 올린다'는 의미를 가지고 있다.
'증착'은 디스플레이 공정에서반도체 기판에, 즉, 실리콘 기판 위에 박막을 성장시키는 것이다. 기판에서 증착하고, 증착하고 계속 증착한다.
'박막'은 유리, 세라믹 또는 반도체 등의 기판 위에 형성된 매우 얇은 피막이다.
하나의 완성품인 반도체가 되기 위해서는 반도체의 원재료가 되는 실리콘(Si) 웨이퍼 위에
단계적으로 박막을 입히고(증착공정) 회로 패턴을 그려 넣은(포토공정) 다음, 불필요한 부분을 원하는 만큼 제거(식각공정)하고 세정하는 과정을 여러 번 반복 하게 된다.이 공정 과정 중에서 박막을 성장시키는 방법, 증착기술 PVD, CVD,가 있다.

CVD란?
CVD는 Chemical Vapor Deposition의 준말로, 화학 기상 증착법이라고도 불린다. CVD 기술은 형성하고자 하는 박막 재료의 구성하는 원소를 포함하는 가스를 기판 위에 공급해 기상 또는 기판 표면에서의 열분해, 광분해, 산화환원반응, 치환 등의 화학적 반응으로 박막을 기판 표면에서 형성하는 방법이다.

참고 자료

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