나노임프린트 ( 포토리소그래피와 대비하여 장점 및 구조,원리)

소개글

나노임프린트 리소그래피 (포토리소그래피 와 비교)

목차

1. 포토리소 그래피
2. 나노임프린트 리소그래피
3. 공정방법
4. 효과
5. 응용 분야

본문내용

Litho graphy ?
lithos (돌) + graphy (그림)
미세한 패턴을 만드는 기술, 반도체 공정 기술을 통칭하는 이름으로 쓰임

Photo Lithography
○ 웨이퍼 위 감광제 도포후, 노광에 의해 마스크를 이용하여 원하는 패턴을 만드는 기술
○ 현제 반도체 공정에서 주로 쓰이는 Lithography 기술

<중 략>

Nano Imprint Lithography (NIL)
나노구조물이 각인된 스탬프를 사용해 도장을 찍듯 기판 상에 나노구조물을 전사하는 공정
선조의 금속활자 및 목판인쇄의 기술을 나노 사이즈로 시도한 기술

참고 자료

없음