펌프 pump

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1. Vacuum
공간의 기체압 < 대기압
분자밀도 < 10¹⁹

◎ 진공의 구성 요소
- 발생기술 - 재료기술
- 가공 및 부품 기술 - 평가 및 제어기술

◎ 진공의 응용 분야
- 입자간 장거리 비행
- 안정된 플라즈마 유지
- 극청정 환경제공
- 증발과 승화작용
- 생화학 반응 억제
- 단열효과

◎ 진공도에 따른 펌프 종류
∵ Oil Rotary Vane Pump의 경우 ~10 ⁻³ Torr
구현가능 주로 저,중진공(10⁻² Torr)에서 사용한다.
∵ 보다 높은 단계의 진공도를 얻으려면 하위 단계의 진공도를 적용 및 유지 해야한다.
∵ 진공설비의 가장 기본의 되는 Pump

2. Oil Rotary Vane Pump
◎ Oil Rotary Vane Pump 구조와 원리

● 구 조
(1) Inlet tube (7) Stator
(2) Inlet port (8) Exhaust port
(3) Top seal (9) Exhaust flat value with backing plate
(4) Vanes (10) Exhaust outle
(5) Oil (11) Oil splash baffles
(6) Rotor

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