[주사 전자현미경] 주사전자현미경(SEM)

목차

1.sem의 작동원리

2.sem의 구성요소
①. 전자광학계(Electrical optical system)
②. 시료실(Specimen stage)
③. 검출기(Secondary electron(SE) detector)
④. 배기계(Vacuum system)
⑤. 전기계(Electronics)

4.sem의 분해능

5.sem의 시료준비

본문내용

주사 전자현미경 (Scanning Electron Microscope)
1. SEM의 작동 원리
전자현미경은 광학현미경과 비교해 보면(표 1), 우선 조명 광선 대신에 전자의 흐름을 이용한다. 따라서 광원에 해당하는 것이 전자원(전자총)이다. 전자현미경에서 사용되는 전자는 음극선이다. 진공속에서 텡스텐 필라멘트를 음극으로 하여 높은 전압을 걸어주면, 필라멘트가 2,700℃까지 올라가서 필라멘트의 끝부분에서 열전자(thermal electron)가 방출된다.
전자는 음으로 하전되어 있기 때문에 양극으로 끌려 일직선으로 튀어 나간다. 방출된 전자 빔은 일반적으로 "coarse probe current knob"에 의하여 조절되고 첫번째 집속렌즈에 의하여 집속된다.
표 1 전자현미경과 광학현미경의 비교.

첫번째 집속렌즈는 전자빔을 집속할 뿐만 아니라 집속조리개를 사용하여 빔의 진행방향에 큰 각도로 이탈하는 전자들을 제거하여 빔의 전류량을 제한하는데에도 사용된다. "Fine probe current knob"에 의하여 조절되는 2번째 집속렌즈는 전자들을 얇고 결이 맞으며 고밀도롤 집속된 전자빔을 형성하고 사용자가 선택할 수 있는 조리개로서 빔으로부터 큰 각도를 가지는 전자들을 제거한다.