오일 로타리 펌프(oil rorary pump)

목차

1. 진공
2. Oil Rotary Pump
3. Oil Rotary Vane Pump
4. 출처 및 참고문헌

본문내용

① 흡입
- 외부의 공기가 Tube를 통하여 Rotor 내부로 유입
② 팽창
- Rotor 내부 Cylinder 및 Vane이 회전하며 Rotor 내부의 공기 팽창 및 이동
③ 압축
- Rotor 내부에서 외부로 공기를 빼내기 직전의 상태로, 내부 공기는 압축
④ 배기
- Rotor 내부의 공기가 Exhaust outlet 을 통하여 공기를 외부로 유출

<중 략>

① Rotary Pistion Pump의 구조
(1) Rotor
(2) Cylinder
(3) Pistion
(4) Discharge Valve

② Rotary Pistion Pump의 원리
- Cylinder 중심과 편심이 되어있는 Rotor가 Cylinfder 축을 중심으로 캠(Cam)운동을 하고 , Pistion이 Rotor표면에 밀작된 상태로 왕복 운동을 하면서 Cylinder가 두개의 공간(Cell)로 분할
- 이 공간의 용적이 로타리 회전에 따라 수축, 확장을 반복 후 공기를 흡입 한 후 이를 다시 압축 시켜 배출

참고 자료

진공의 기초(Basic vacuum practice)개정판, 김홍배 손상희 공역,㈜전자자료사
진공과학입문(introductory vacuum science & technology), 정석민 이진원 박종윤 공저
기초 진공공학, 김현후 황용운 박대희 임기조 공저, 내하출판사
브리태니커 백과사전
김기출 교수님 수업 ( 기초전자공정 필기 노트 )