SEM의 원리 & 특징(예비)

목차

1. 실험제목
2. 실험날짜
3. 이론 및 배경
4. 참고문헌

본문내용

(1) SEM의 원리
1) 원리
- SEM에서 확대상을 얻는 기구는 광학현미경이나 TEM과는 다르다. 가늘게 조은 전자선을 시료 위에 주사시키고 동시에 상 재생측에서는 음극선관내의 전자빔을 형광면에 주사시켜 양자를 동기시킴으로써 상의 형상이 이루어진다. 이와 같은 상 형성을 메커니즘은 TV 혹은 펙시밀리와 비슷하지만 한 화면을 형성하는 시간은 TV보다는 훨씬 늦다.
- 그림 1은 SEM의 원리구성을 나타낸 것이다. 입사전자선에 의해 시료면에서 발행하고 상의 콘트라스트를 결정하는 2차전자량은 주로 시료면의 표면양상에 의존한다. SEM의 사진을 얻기 위해서는 CRT에 나오는 화면을 카메라로 촬영해야 한다.
- SEM의 배율은 SEM의 원리에서 알 수 있듯이 전자프로브의 시료상 주사폭과 CRT 스크린폭과의 비로 정해진다. CRT 디스플레이 화폭은 일정하므로 배율의 변화는 전자프로브의 주사 편향각을 전기적으로 변화시킴으로써 이루어지며 통상 수십 배부터 수만 배 정도까지 변화시킬 수 있다. 또한 SEM에서는 원리적으로 배율의 변화, 초점맞춤, 화상을 밝기, 콘트라스트를 각각 조절할 수 있다.

참고 자료

주사전자현미경의 기초, p.1~28, 황인옥, 김재천 공역, 반도출반사[1994]
주사전자현미경 분석과 X선 미세분석, p. 1~106, 윤존도, 양철웅 외 2명 공저, 청문각[2005]