고체금속으로부터 단결정 제작법 -재료조직학

목차

1. 재결정법
2. 동소변태법
3. 소결법

본문내용

1. 재결정법
금속의 상태가 bulk의 경우, 이를 냉간가공 시키면 결정립 조직이 변화한다. 이후 어닐링을 하게 되면 변형된 소지내에서 새로운 결정의 핵이 생성, 성장하여 완전히 새로운 결정립의 조직이 되고 이 결정립을 연속 또는 불연속 성장시켜 단결정을 제조한다.

- laser-MBE(laser molecular beam epitaxy)법
MBE(Molecular Beam Epitaxy)는 양질의 반도체 박막을 성장시키기 위해서 1970년 대 초에 개발되기 시작하였다. MBE는 화합물의 두께, 도핑 양, 화합물의 비를 정밀하 게 제어할 수 있다. MBE의 구성은 크게 진공 챔버, 증발 셀(effusion cell), RHEED(Reflection High Energy Electron Diffraction)로 나눌 수 있다. 진공 챔버는 여러 가지 진공펌프(이온펌프, 타이타늄 승화 펌프, 터보펌프, 로타리 펌프 등)를 이용 하여 torr 이하의 초고진공 상태를 유지하며, 실제 시료를 만들 때는 cryo-panel 에 액체질소를 흘려줌으로써 만들고자 하는 물질 이외에 불순물의 영향을 최소화시킨다.

참고 자료

없음