주사전자현미경(Scanning Electron Microscope)에 관한 레포트 입니다.
- 최초 등록일
- 2015.04.27
- 최종 저작일
- 2014.04
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목차
1. 원리
2. 기능
3. SEM원리
4. 전자총(electron gun)
5. 전계방사형 (Field Emission Gun)
6. 전자빔과 시료의 상호작용
7. Electron Gun
8. 전자총에서 전자가 튀어나오는 이유
본문내용
원리
전자발생원(electron source)으로부터 전자선을 조사해 미소한 점으로 초점을 맞추고, 검출기로 미소점에서의 변화된 신호량의 대소를 브라운관 점의 명암으로써 영상시키는 방식이다. 전자선이 조사될 때 후방 산란 전자(back scattered electron), 2차 전자(secondary electron), X선, 음극 형광 등이 발생된다. 발생한 전자는 검출기에 의해 전류신호로 변환되어 브라운관 위에 신호상으로써 영상화된다. 이 중에서 2차 전자상이 가장 분리능이 높아서 가장 널리 사용된다. 다른 신호에 의한 상은 2차 전자상에 비해 분리능이 떨어지지만 시료를 구성하는 특수한 성질의 정보를 얻을 수 있으므로 이러한 것은 주로 특수목적의 분석에 이용되고 있다.
기능
1. 고체 상태에서 작은 크기의 미세 조직과 형상을 관찰
2. 차원적인 영상의 관찰이 용이해서 복잡한 표면구조나 결정 외형 등의 입체적인 형상을 높은 배율로 관찰할 수 있는 분석 장비
3. 금속 파편, 광물과 화석, 반도체 소자와 회로망의 품질 검사, 고분자 및 유기물, 생체 시료와 유가공 제품 등 전 산업 영역에 활용
참고 자료
http://blog.naver.com/nurian?Redirect=Log&logNo=50076682549(nurian님의 신기한 현미경 세계
http://blog.naver.com/nurian?Redirect=Log&logNo=50076682549(nurian님의 신기한 현미경 세계
http://www.seceng.co.kr/DC/?M=C4a(SEM장비전문제조 쎄크)