[spin coating] spin coating

등록일 2003.06.17 MS 워드 (doc) | 5페이지 | 가격 2,000원

소개글

A++ 자료

목차

1. 실험방법
2. 실험결과
DAT
SEM
3. 토론

본문내용

1. 실험방법
실험에서 PVP(poly Vinyl Pyrrolidone를 각 0%, 10%, 30%, 50%씩 TiO2에 첨가하여 상이 변화하는 모습을 알아보는 실험을 하였다.

Spin Coating의 공정은 크게 다음과 같은 세 부분 Deposition, Spin-up, Spin-off, Evaporation으로 나뉜다.
1. 먼지 제거 – Air-Press를 이용하여 기판의 먼지를 제거
2. Deposition – 주사기를 이용하여 TiO2 위에 PVP(0%,10%,30%,50%)를 뿌려준다.
3. Spin Up – 약 5Sec 후, 5,000Rpm으로 불린다.
4. Spin Off - 30Sec 후, 작동을 멈춘다.
5. Evapoation – 기판을 Oven 에 약 10분간 넣어 가열시킨다. (단계를 각 %마다 반복하여 실행하여 준다.)
6. XRD 촬영 – 반복하여 완성된 상태를 XRD 촬영하도록 한다.
7. SEM 촬영 – 표면 미세구조 관찰
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