[반도체, 제어, 기계] 초소형전자정밀기계(MEMS) 관련 보고서

등록일 2003.06.10 한글 (hwp) | 5페이지 | 가격 1,000원

소개글

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목차

1. 서론
2. 음향 액츄에이터의 종류
가. 전자형:
나. 정전형:
다. 압전,전왜형
3. 관련연구동향
4. 기대효과
가. 기술적 측면
나. 경제/산업적 측면
5. 활용방안
6. 결론

본문내용

우리말로 초소형전자정밀기계 라고 번역되는 MEMS는, 말 그대로 전자적인 제어,측정되는 초소형 기계장치류를 의미한다.
마치 어릴적 공상과학 소설에 나옴직한 그런 초정밀 전자기계를 생각하면 된다. 기본적으로 반도체 공정을 통한 초정밀 장비지만 단순히 전자적인 동작을 하는게 아니라 뭔가 기계적으로 움직이는 요소가 가미된 것이다. (반도체와는 확연히 구분되는 특징이다)
예를 들어 우리 생활에 가장 많이 보급된 MEMS 장비중 하나는 자동차 에어백의 속도센서(accelerometer)이다. 아주 작은 크기여야만 미세한 속도변화를 감지하여, 내부의 어떤 속도판의 움직임을 전압이나 전류로 변화하여 에어백이 동작할지 말지를 결정한다. MEMS는 이런 이유로 초소형 센서로서의 응용사례가 매우 많다.

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