[재료공학] [재료공학]전자재료실험

등록일 2003.05.23 한글 (hwp) | 7페이지 | 가격 1,000원

목차

1. 면저항 측정장비 및 면저항 측정의 원리
2. HALL EFFECT란 무엇이며, 어떠한 원리에 의해 이런 현상이 일어나는가?
3. PVD와 CVD방식의 차이점과 CVD방식을 이용한 증착

본문내용

▶면저항(Sheet Resistance)이란? 두께가 일정한 경우의 단위 면적당의 저항을 말한다. 넓이에 상관없이 가로대 세로의 비가 같을 경우 면저항은 동일하다.
판막의 직육면체 모양의 부분의 저항은(판막의 평면과 평행한 방향으로 측정된) 다음 식으로 주어진다.
R=ρl/db
(b: 직사각형의 폭, l: 직사각형의 길이, d: 직육면체의 높이)
만약에 l=b이라면 이 식은
R=ρ/d=Rs
이 된다. 따라서 한 정육면체 모양의 판막의 저항 Rs는 그 크기에 대해 독립적이고 오로지 그 저항과 두께에 의존한다. 우리는 이 Rs를 판막의 sheet resistance라 부르며 정사각형당의 옴(Ω)으로서 나타낸다. 우리가 만약 두께를 알고 있다면 저항은 다음과 같은 식으로 얻어진다.
ρ=dRs

참고 자료

실리콘 집적회로 공정기술 / 이종덕 저 / 대영사
비정질반도체 / 김철주 감수 / 아카데미아리서치 발행 등
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