면저항 측정기(4-point probe)의 이해와 방진복 체험

목차

1. Title (실험 제목)
2. Objectives (실험 목적)
3. Experimental procedure (실험 방법)
4. Experimental equipment (실험장비)
5. Literature Review (이론적 배경)
6. Result and Discussion (결과 및 고찰)
7. Conclusion (결론)
8.References(참고서적및사진들)

본문내용

1. Title (실험 제목)
-면저항 측정기(4-point probe)의 이해와 방진복 체험
2. Objectives (실험 목적)
- 웨이퍼 위에 증착된 물질의 면 저항을 측정하여 면저항 측정기의 원리를 이해한다.
3. Experimental procedure (실험 방법)
(1)웨이퍼 위에 박막으로 물질을 증착한다.
(2)시편을 절단 후 면저항을 측정한다.
(3)각 시료의 면저항을 비교하여 본다.
4. Experimental equipment (실험장비)
- 증착된 웨이퍼, 면저항 측정기(CWT-SR100N)(첨단6층 박막실)
5. Literature Review (이론적 배경)
-Clean room-
대기 중의 먼지와 미생물을 제거하기 위해 고성능 필터를 통한 공기를 순환 공급하여 먼지류의 수를 항상 일정 수준 이하로 억제하고 있는 방. 필요에 따라 온도, 습도, 압력 등의 환경 조건도 관리된다. 반도체, 의약품, 식품, 바이오테크놀러지 등의 분야에서 사용된다. 무균상태로 유지하는 공간을 생물학적 청정실이라 한다.
-evaporation-
진공 중에서 금속 증기를 증발시켜서 기판에 부착시키는 것으로 반도체나 메모리용 자기 박막 등의 제조에 이용됨.
-sputtering-
스퍼터링(Sputtering)은 진공상태의 용기 안에 헬륨 등 불활성기체를 채워 코팅재료(타깃)에 고전압을 걸어 방전시키면 이온화된 불활성기체가 코팅재료에 충돌하게 되고, 이 때 타깃물질의 이온이 튀어나와 기판(코팅하기 위한 대상물)에 달라붙어 코팅이 되는 원리를 이용한 일종의 물리증착기술을 말한다. Sputtering 기술은 각종 기계와 공구의 표면코팅 뿐만 아니라 장식품과 전자재료 및 반도체의 금속코팅 등에 이르기까지 응용범위가 매우 다양하다.

참고 자료

http://blog.naver.com/ax800?Redirect=Log&logNo=140103793697
http://blog.naver.com/moys79?Redirect=Log&logNo=110043908512