[반도체] 단결정 성장 방법

등록일 2003.05.02 한글 (hwp) | 3페이지 | 가격 1,000원

목차

Czochralski법
Liquid phase epitaxi(LPE)
PECVD(plasma enchanced chemical vapor deposition)

본문내용

Czochralski法

1)정의 : 창시자의 이름을 따서 초크랄스키법(Czochralski法:1918) 나켄법(1915) 키로플러스법(Kyropoulos法:1926)이라고도 한다. 이 방법은 단결정 육성법 중에서는 가장 원리 장치가 확립되어 있으며, 그 순서는 도가니 속의 용융액에 씨결정을 담근 후에 용융액온도의 균일성 및 비등방성장(非等方成長) 방지를 목적으로 도가니 또는 결정을 회전시키면서 서서히 끌어올려서 결정을 육성한다.

2)장점 : 얻은 결정은 도가니에 구애받지 않고 자유로운 상태에서 성장하므로 비교적 완전성이 양호하다고 할 수 있다.

3)단점 : 결정 형상이나 성질은 인상속도(성장속도) 회전속도 온도기울기 또는 결정방위에 의하여 지배되므로 이들에 대한 적절한 제어가 가장 중요하다. 또 인상에 따라 용융액의 조성변화가 생기는 경우에는 대용량의 도가니나 부유(浮遊) 도가니가 사용된다. 규소나 게르마늄 단결정은 주로 이 방법으로 큰 것을 생산하고 있다.
*원하는 자료를 검색 해 보세요.
  • 화합물 반도체 18페이지
    법에 희한 박막 성장 단결정의 반도체를 device로 가공하는데 사용되는 ... 화가 쉽다. 경도가 있어 좋고 높은 순도와 내용이 똑같은 커다란 단결정 ... 사용하여 화합물 반도체의 해리를 억제한다. LEC 단결정의 전위밀도는
  • 84화합물 반도체 공정 [2조] 성장기술 (HVPE,LPE) 35페이지
    성장이란? 단결정 박막의 원료 물질 고온의 로 안에 주입 화학 반응 또는 ... GaCl 과 As4가 반응하여 GaAs 단결정 박막이 기판 위에 성장됨 2 ... GaCl + 1/2As4 → 2GaAs + Cl2 (GaAs 단결정 박막
  • Epitaxial Growth 30페이지
    기판 위에 결정방위가 같은 단결정 박막을 성장시키는 방법의 하나 ... 부르는 제2의 결정(seed) 위에 방향성을 가진 단결정층을 성장시키는 ... 내지는 과포화 상태인 용액으로부터 단결정 기판위에 에피택시층을 성장시키는
  • Epitaxial growth 34페이지
    Substrate seed 위에 단결정층을 성장시키는 것. 성장하는 결정층은 ... 낮은 온도에서 단결정을 성장시킬 수 있어서 불순물 혼합 등의 문제를 ... 물간의 상호 침투현상을 최소화 생성물이 단결정이라는 점 말고는 CVD법과
  • Epitaxy 10페이지
    올려놓기 위해 단결정으로 이루어진 웨이퍼 상에 얇은 박막으로 표면을 덮는 ... 상으로 기판결정을 향하여 분출되어 단결정 박막을 형성하게 된다. 그리고 ... 방향성을 가진다. 이렇게 기판 웨이퍼 위에 같은 방향성을 갖는 단결정
  • [공학]에피택셜 성장 epitaxial growth 에피택시 20페이지
    ) Epitaxy -정의 웨이퍼 위에 같은 방향성을 갖는 단결정 막을 기르는 ... (epitaxy)라 함 ( 소자에의 응용을 위한 결정성장방법 중의 하나는 단결정 ... point)으로부터 서서히 냉각시키면서 단결정의 GaAs 층을 시드 결정
  • 에피택시 4페이지
    점(melting point)으로부터 서서히 냉각시키면서 단결정의 GaAs 층을 시드 ... 낮은 온도에서 단결정을 성장시킬 수 있어, 시드 결정의 용융 온도에서 ... 사용된다. 1.LPE (Liquid Phase Epitaxi) 결정
더보기
      최근 구매한 회원 학교정보 보기
      1. 최근 2주간 다운받은 회원수와 학교정보이며
         구매한 본인의 구매정보도 함께 표시됩니다.
      2. 매시 정각마다 업데이트 됩니다. (02:00 ~ 21:00)
      3. 구매자의 학교정보가 없는 경우 기타로 표시됩니다.
      4. 지식포인트 보유 시 지식포인트가 차감되며
         미보유 시 아이디당 1일 3회만 제공됩니다.
      상세하단 배너
      최근 본 자료더보기
      상세우측 배너
      상세우측 배너
      상세우측 배너
      추천도서
      [반도체] 단결정 성장 방법
      하나은행 통장 개설 이벤트 오늘 하루 보지 않기 닫기
      ?>
      닫기