[반도체] 단결정 성장 방법

등록일 2003.05.02 한글 (hwp) | 3페이지 | 가격 1,000원

목차

Czochralski법
Liquid phase epitaxi(LPE)
PECVD(plasma enchanced chemical vapor deposition)

본문내용

Czochralski法

1)정의 : 창시자의 이름을 따서 초크랄스키법(Czochralski法:1918) 나켄법(1915) 키로플러스법(Kyropoulos法:1926)이라고도 한다. 이 방법은 단결정 육성법 중에서는 가장 원리 장치가 확립되어 있으며, 그 순서는 도가니 속의 용융액에 씨결정을 담근 후에 용융액온도의 균일성 및 비등방성장(非等方成長) 방지를 목적으로 도가니 또는 결정을 회전시키면서 서서히 끌어올려서 결정을 육성한다.

2)장점 : 얻은 결정은 도가니에 구애받지 않고 자유로운 상태에서 성장하므로 비교적 완전성이 양호하다고 할 수 있다.

3)단점 : 결정 형상이나 성질은 인상속도(성장속도) 회전속도 온도기울기 또는 결정방위에 의하여 지배되므로 이들에 대한 적절한 제어가 가장 중요하다. 또 인상에 따라 용융액의 조성변화가 생기는 경우에는 대용량의 도가니나 부유(浮遊) 도가니가 사용된다. 규소나 게르마늄 단결정은 주로 이 방법으로 큰 것을 생산하고 있다.
*원하는 자료를 검색 해 보세요.
  • 단결정 성장 공정 7페이지
    1.단결정 성장 공정 1) 반도체에 단결정을 사용하는 이유 2) 결정성장이란? 3) 결정 성장법의 종류 및 원리 4) 사용분야결정 성장정 의 증기나 용액 · 융액과 같이 원자 · 분자가 무질서하게 움직이고 있는 상태에서 결정의 규칙적인 배열로 이행하는 과정 ..
  • 고체금속으로부터 단결정 제작법 -재료조직학 2페이지
    1. 재결정법금속의 상태가 bulk의 경우, 이를 냉간가공 시키면 결정립 조직이 변화한다. 이후 어닐링을 하게 되면 변형된 소지내에서 새로운 결정의 핵이 생성, 성장하여 완전히 새로운 결정립의 조직이 되고 이 결정립을 연속 또는 불연속 성장시켜 단결정을 제조한다. - ..
  • [A]단결정 성장 10페이지
    ※초크랄스키법 이 결정인상법(Crystal pulling method)은 용융체의 표면에 금속봉을 닿게 하면, 접촉부가 과냉각되어 결정화할 것이라는 아이디어를 실용화시킨 것이다. 이 결정인상법의 일종으로서 가장 널리 이용되고 있는 방법이 1918년 초크랄스키에 의하여..
  • 단결정 실리콘 성장기의 성능향상을 위한 직경 제어 (The Diameter Control for improved performance of the Crystal Grower) 11페이지
    본 연구에서는 실제의 산업현장(MEMC Korea)에서 생산 공정에 투입되고 있는 단결정 실리콘 성장기CZ-150 Crystal Grower의 직경을 자동으로 제어하는 시스템의 성능을 개선하기 위한 제어기를 설계하였다. 설계된 제어기의 설계파라미터들의 효용성을 컴퓨터..
  • [단결정 성장] 단결정 성장실험 6페이지
    우리 4조는 비커에 Potassium Ferricyanide 94g을 넣은 뒤, 물 20ml를 넣고 포화용액을 만들기 위해 마그네틱을 넣고 비커에 랩을 씌운 뒤, 가열하였다.완전히 녹은 포화용액을 만든 뒤, Seed 결정을 만들기 위해 스티로폼 박스에 넣고 3∼4일간 ..
  • [반도체] 단결정 성장 17페이지
    단결정 정의:원자가 규칙적으로 배열하여 하나의 결정을 이룬 것사용하는 이유: 1) 결정 입계가 없다. 2) 특정한 방향으로 특정한 성질을 갖는다. 3) 개개의 원자는 일정한 전위(전압)을 지니고 있다. ⇒ 전기적 성질이 우수 에피택시얼 성장법: 이미 만들어져 있는 ..
  • 단결정 성장 방법에 관한 조사 입니다. 7페이지
    단결정 성장 방법Single Crystal Growth MethodⅠ. Bulk 형태의 단결정 성장 방법1. CZ(Czochlaski)법- Czochlaski법은 seed 끝에 성장하고자 하는 단결정을 매달아 둔 뒤 Carbon heater안 에 용융상태로 만든 원재료..
더보기
      최근 구매한 회원 학교정보 보기
      1. 최근 2주간 다운받은 회원수와 학교정보이며
         구매한 본인의 구매정보도 함께 표시됩니다.
      2. 매시 정각마다 업데이트 됩니다. (02:00 ~ 21:00)
      3. 구매자의 학교정보가 없는 경우 기타로 표시됩니다.
      최근 본 자료더보기