고려대학교 재료공학실험1 진공 증착기를 이용한 Ohmic Contact 형성용 Metal 박막 증착(예비보고서)

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목차

가. 실험 목적

나. 배경 이론
1. 박막(Thin Film)이란?
2. 진공이란?(예비1번)
3. 진공의 측정
4. 진공의 종류와 질
5. 진공 펌프에 대해서(예비2번)
6. 진공 게이지에 대해서(예비3번)

본문내용

박막(Thin Film)이란?
박막(Thin Film)은 기계가공으로는 만들 수 없는 두께가 마이크로미터에서 나노미터 정도를 가지는 얇은 막을 의미한다. 전자 반도체 장비나 광학적 코딩이 박막제조의 가장 주요한 활용방안 중 하나이다. 우리에게 친근한 예로는 거울을 들 수 있는데 거울은 일반적으로 유리의 뒤편에 반사를 시키기 위해 얇은 메탈 코팅을 하게 되며 양방향 거울에는 나노미터보다 얇은, 아주 얇은 박막기법이 사용된다. 강자성 박막은 컴퓨터의 메모리로도 사용되며 광학적 코팅의 경우에는 두께가 다양한 여러 개의 Layers들로 구성하는 것이 가장 좋은 효율을 나타낸다. 세라믹 재료의 박막은 상당히 다양하게 사용되는데 상대적으로 단단한 경도를 가진 세라믹은 부식이나 산화에 강하여 이런 것들에 보호를 요구하는 물건들의 코팅에 사용된다.

<중 략>

hot filament가 열전자를 방출하여 기체분자들과 충돌하여 이온화시킨다. 이 열전자와 이온화하면서 떨어져 나온 전자들은 나선형의 전자 콜렉터(그리드)에 수집이 되어 전류로 변한다. 전자 콜렉터는 약 +150V로 유지한다. 주변의 이온 콜렉터는 약 -30V를 유지하여 이온들을 모아 이온전류를 형성하고 우리는 이 전류를 측정하여 나중 압력으로 변환시키면 된다. 전자들이 전자 콜렉터를 치면서 soft X-ray를 발생시키고 이 연X선은 다시 이온 콜렉터를 쳐 전자를 발생시키게 되는데 이 때 약한 이온 전류가 발생하게 된다(광전효과). 따라서 이 이온 게이지의 측정 하한선은 바로 이 연X선에 의해 결정되는데 대략 10-7Torr 근처가 된다.
또한 측정 상한선도 있는데 기체의 압력이 너무 높으면 이온 콜렉터 근처에 너무 많은 이온이 몰려 공간전하가 생겨 이온의 흐름을 방해하게 되어 올바른 측정이 불가능하고 또한 filament의 산화가 급격히 일어나므로 게이지의 수명이 단축된다.

참고 자료

http://en.wikipedia.org/wiki/Thin_film
http://www.google.co.kr/search?q=thin+film&newwindow=1&source=lnms&tbm=isch&sa=X&ei=3z2CUd-lBY-skgWBn4DIBQ&ved=0CAcQ_AUoAQ&biw=1440&bih=758#imgrc=Ms8u1XL03emyBM%3A%3BT9H4id2Blnb9rM%3Bhttp%253A%252F%252Fnews.thomasnet.com%252Fgreen_clean%252Fwp-content%252Fuploads%252F2012%252F06%252Fthin-film-pv.jpg%3Bhttp%253A%252F%252Fnews.thomasnet.com%252Fgreen_clean%252F2012%252F06%252F05%252Fthin-film-photovoltaics-market-aims-to-convert-on-huge-potential%252F%3B482%3B431
http://ko.wikipedia.org/wiki/%EC%A7%84%EA%B3%B5#.EC.A7.84.EA.B3.B5.EC.9D.98_.EC.9D.98.EB.AF.B8
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안일신, '진공물리 및 진공기술', 한양대학교 출판부, 1999
A Roth, 'Vacuum Technology' North Holland
서울대학교 재료공학부 '박막공학'