발광박막의 제조 (Fabrication of Light Emitting Thin Films)

등록일 2002.12.25 한글 (hwp) | 4페이지 | 가격 600원

목차

1. 실험목적
2. 실험장치 및 방법
2-1. 실험장치 및 시약
2-2. 실험방법
2-2-1. 기판 세정
2-2-2. 진공증착법에 의한 박막증착
2-2-3. Spin coationg에 의한 박막증착
3. 결과 및 토의

본문내용

2-2. 실험방법
2-2-1. 기판 세정
① 준비된 glass를 2×2 cm2 크기로 자른 뒤, boat에 담는다.
② TCE, Acetone, Methanol, DI Water 순으로 각각 10분씩 초음파 세척을 한다.
③ 세척 후 N2 기체로 blow drying 한다.
④ 잔류 유기물과 수분을 제거하기 위해서 Convection Oven에서 10분간 건조시킨다.

2-2-2. 진공증착법에 의한 박막증착
① 세정된 기판 위에 shadow mask를 씌우고, crucible에 유기물 시료(Alq3, 또는 TPD)를 정량(2.0mg)하여 넣는다.
② Thermal evaporator chamber 안에 ①에서 준비된 기판과 시료를 넣는다.
③ RP(rotary pump)와 DP(diffusion pump)을 사용하여 chamber 내의 진공도를 10-5∼10-6 torr로 유지시킨다.
④ 박막증착이 가능한 진공도에 도달하게 되면 power supply에 전원을 넣고, 전류를 가해 발생하는 저항열에 의해 시료(Alq3 또는 TPD)를 승화시켜 기판 위에 박막을 증착시킨다.

참고 자료

● C.W. Tang, S.A. VanSlyke, Appl. Phys. Lett. 51, 913 (1987).
● C. Adachi, S. Tokito, T. Tsutsui, S. Saito, Jpn. J. Appl. Phys. 27, L269 (1988).
● C.W. Tang, S.A. VanSlyke, C.H. Chen, J. Appl. Phys. 65, 3610 (1989).
● Gerd Mueller eds., "Electroluminescence Ⅰ", Academic Press, (2000).
● Gerd Mueller eds., "Electroluminescence Ⅱ", Academic Press, (2000).
● Donald L. Smith, "Thin-Film Deposition : Principle & Practice", International ed., McGraw-Hill, Singapore, (1997).
● http://www.newswise.com/
● 이흥락 외 5명 대학기기분석 P.308
● 대한화학회, 천문각, 표준일반화학실험, 1994.
● 김봉곤, 김재상, 이부영, 도명기, 자유아카데미, 錯物化學, 1991.
*원하는 자료를 검색 해 보세요.
  • [a+]물리레포트 - 당구의역학 6페이지
    일반물리학 실험보고서 실험 4. 당구의 역학 실험일: 0000년 0월 00일 제출일: 0000년 0월 0일 실험 <다>반 0000-00000 강종원 1.요 약 이 실험은 운동량과 역학적 에너지에 관한 것으로, 충돌이 일어나는 전후로 시간에 따른 물체의 위치에 대한 흔적..
  • 화장실 내에서의 심리행태, 환경심리 조사 4페이지
    화장실 내에서의 심리행태조사 - 목 차 - 실험내용 및 분석 실험 <실험 1> <실험 2> <실험 2-1> <실험 2-2> <실험 3> 분석 1번칸 2번칸 3번칸 ● ● ○ ○ ● ● ○ ○ ● ○ ○ ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ○ ● ○ ○ ○ ● ○ ● ●..
  • 충격량과 뉴턴 제3법칙 결과보고서 6페이지
    [결과보고서] 충격량과 뉴턴 제 3법칙 실험 일자 : 2012. 07. 11. 제출 일자 : 2012. 07. 13. 공동 실험 : 4조 담당 조교 : 박영미 [1] 측정값 <실험1> 수레의 질량 : 0.51308kg 충돌 직전 충돌 직후 t1=1.864 s t2=1...
  • 고분자 고무 팽윤 실험 ppt 27페이지
    팽윤도 측정과 단량체 정제 Experiment of polymer chemistry 고분자 물성 실험 발표 PPT 201212291 홍길 동 201212275 양둘리 201212211 제또치 201212291 홍길동 201212275 양둘리 201212211 제또치 목..
  • 실험7. 단순조화운동 7페이지
    단순 조화 운동 1-1) 실험1. 실험결과 * 추걸이 질량 = 5.53g 표기 질량 5g 10g 20g 50g 실제 질량 5.15g 10.43g 20.2g 49.76g 설정 질량 실제 질량(g) 늘어난 길이(cm) F=mg 40g 45.93 7.6 0.450114 45..
  • [아주대] 논리회로실험 6장 결과(Latch & Flip-Flop) 8페이지
    The Resulting Report Experiment 6 ? Latch & Flip-Flop OBJECTIVES 실험을 통해 R-S flip-flop, D-flip-flop, J-K flip-flop 회로를 직접 구현해보아 원리와 동작을 이해할 수 있었고, log..
  • 재료역학(부양체실험,유선관찰 실험 ,Reynolds수 실험) 10페이지
    REPORT ※ 부양체 실험 1) 실험이론 유체의 표면에 뜨는 부체의 안정문제는 물위에 부유하는 구조물의 기능에 많은 영향을 미친다. 부체가 안정 상태에 있는지, 중립상태에 있는지 등은 부체의 중심이 어떤 높이에 있는가에 달려있다. 부양체 실험은 모형배의 중심을 인위..
더보기

이 자료와 함께 구매한 자료

      최근 구매한 회원 학교정보 보기
      1. 최근 2주간 다운받은 회원수와 학교정보이며
         구매한 본인의 구매정보도 함께 표시됩니다.
      2. 매시 정각마다 업데이트 됩니다. (02:00 ~ 21:00)
      3. 구매자의 학교정보가 없는 경우 기타로 표시됩니다.
      4. 지식포인트 보유 시 지식포인트가 차감되며
         미보유 시 아이디당 1일 3회만 제공됩니다.
      상세하단 배너
      최근 본 자료더보기
      상세우측 배너
      추천도서
      발광박막의 제조 (Fabrication of Light Emitting Thin Films)