[직접회로] 생기교육자료 ETCH 사진2

등록일 2002.12.22 MS 파워포인트 (ppt) | 42페이지 | 가격 500원

소개글

생기교육자료 ETCH 의 첨부자료입니다.

목차

1. ROADMAP

2. 장치 개요
2-1. EXPOSURE
2-2. TRACK

3. 공정 개요
3-1. PHOTO 공정 FLOW SEQ.
3-2. COATER
3-3. DEVELOPER
3-4. EXPOSURE

4. MATERIAL
4-1. PHOTORESIST
4-2. ARC
4-3. POLYIMIDE

5. CHECK ITEM
5-1. EXPOSURE
5-2. TRACK

본문내용

DEVELOPER FLOW

Post Exposure Bake로써 Profile의
Standing Wave 제거 목적.
Standing Wave는 노광시 PR 성분중
PAC의 농도의 차이로 인해 Profile이
Wave지는 현상으로, 열을가해 PAC의 농도를
Diffusion시켜 Profile을 좋게함.
온도 설정은 PAC분해 온도(130℃)이하,
S/B와 20℃ 정도 차이인 110~120℃/120"
*원하는 자료를 검색 해 보세요.
  • 매우 자세한 백신 설치 및 사용법 - 노턴 안티바이러스 백신 59페이지
    ※ 차 례 Ⅰ. Norton AntiVirus 2003 0. 설치과정 1. LiveUpdate 2. 메인화면 0.0.
  • [게임 프로그램]위피로만든 펌프 게임 0페이지
    위피로 만든 펌프 게임입니다
  • 디지털 스캔 이미지의 보간방법에 관한 연구 (A study on the Interpolation method of Digital scan image) 15페이지
    If a image doesn't include sufficient data of output size and resolution, we will scan again the image. Interpolation generates a new pixel by methem..
  • 축구 7페이지
    ? 4-3-3 토탈사커의 원형으로 불리는 4-3-3입니다. 4-2-4에서 발전한 포메이션으로 미헬스의 약스가 70년대를 기점으로 세계 축구를 공격축구로 바꿔버리면서 토탈사커 마인드를 전세계에 퍼뜨렸습니다. CM들이 중앙에 집중되어 수비조직 앞에서 대단히 강한 장악력을 ..
  • 타이쿤 게임 기획서 29페이지
    게임 기획서 상현이의 버거 타이쿤 목차 개요 순서도 3.1 메인 순서도 3.2 플레이 구성 3.2.1 건설 순서도 3.2.2 햄버거 순서도 3.2.3 직원 순서도 3.2.4 대회 순서도 화면구성 메인 화면 게임하기 환경설정 랭킹 햄버거 3.2.1햄버거 제작 3.2.2햄..
  • [수학] 대학수학(교우사) 연습문제풀이(5~6장) 14페이지
    ★ 연습문제 5.1 1. 다음 각 부정적분을 구하여라. (1){ INT pi dx { INT pi dx = pix + c (2){ INT x SQRT {x}dx { INT x SQRT {x}dx = INT {x }^{ { 3} over {2 } } dx = { 1} ..
  • (청문각)구조역학 연습문제 풀이 3, 4, 5 장 13페이지
    3.1 밑의 트러스에서 부재력을 각각 영향선법을 이용해서 구하라. Sol] 3.2 그림 문제 3.2에 있는 트러스에서 모든 부재의 부재력을 구하여라. Sol] (a) 절점법으로 풀면 절점법으로 푼 위의 두 식을 연립해서 풀게 되면 (b) 절점법을 이용하여 풀면 (c) ..
더보기
      최근 구매한 회원 학교정보 보기
      1. 최근 2주간 다운받은 회원수와 학교정보이며
         구매한 본인의 구매정보도 함께 표시됩니다.
      2. 매시 정각마다 업데이트 됩니다. (02:00 ~ 21:00)
      3. 구매자의 학교정보가 없는 경우 기타로 표시됩니다.
      4. 지식포인트 보유 시 지식포인트가 차감되며
         미보유 시 아이디당 1일 3회만 제공됩니다.
      상세하단 배너
      최근 본 자료더보기
      상세우측 배너
      추천도서
      [직접회로] 생기교육자료 ETCH 사진2