[직접회로] 이온주입공정

등록일 2002.12.22 MS 파워포인트 (ppt) | 52페이지 | 가격 1,500원

목차

제1장 서론
제2장 이온 주입 장비
제3장 이온 주입의 특징 및 응용
제4장 비정질에서의 주입 이온의 분포
제5장 단결정에서의 주입 이온의 분포
제6장 손상(Damage)
제7장 아닐링(Annealing)
제8장 소자 및 집적 호로 제조 기술에 미치는 영향

본문내용

* Ion inplan - tation ?
회로 패턴과 연결된 부분에 불순물을 미세한 GAS입자형태로 가속하여 웨이퍼의 내부에 침투시킴으로써 정자 소자의 특정을 만들어 줌, 이러한 불순물 주입은 고온의 전기로 속에서 불순물 입자를 웨이퍼 내부로 확산시켜 주입하는 diffusion공정에 의해서도 이루어진다.
이온 주입의 가장 중요한 이점은 주입되는 불순물 원자의 수를 정확히 조절할 수 있다
10(14) ~ 10(18) 원자/cm3 범위에서 불순물 농도를 조절하는 데는 이온 주입이 다른 불순물 도입 기술보다 분명히 이점을 갖고 있다. 이온 주입시 사용되는 마스크는 보통 집적 회로 제작시 쓰이는 재료인 감광 물질, 산화물, 질화물, 다결정 실리콘 등으로 만들어질 수 있다.

* 이온 주입 조건
Source : 11B+, BF+2, 31O+, 75As+, Ar+
Energy : 35kev ~ 180kev
Dose : 1E11/cm2 ~ 1E14/cm2
* 진공 장치 : 10(-7) ~ 10(-5) torr 정도의 진공에서 동작한다.
* 이온 공급 장치 : 중성 원자를 떼어내어 양으로 대전된 입자를 만들어 준다.

*원하는 자료를 검색 해 보세요.
  • [반도체] 이온주입법 9페이지
    목 차 1. 개요 2.이온주입 장비 3. 이온 주입의 특징 및 응용 4. 비정질에서의 이온 주입 : 에너지 손실 5. 단결정에서의 이온 주입 6. 손상(Damage) 및 어닐링(Annealing) 7. 소자 및 집적회로 기술에 미치는 영향 이온주입 (Ion Implan..
  • 나노발표-이온주입 19페이지
    목차 반도체 제조공정에서의 이온주입 이온주입이란 이온주입기 이온주입원리 이온주입 장점, 단점 채널링, 격자손상, 아닐링 실생활에 적용된 이온주입의 예 출처 반도체 제조공정                         이온주입이란 이온 주입(Ion implantation)..
  • 나노발표-이온주입 19페이지
    목차 반도체 제조공정에서의 이온주입 이온주입이란 이온주입기 이온주입원리 이온주입 장점, 단점 채널링, 격자손상, 아닐링 실생활에 적용된 이온주입의 예 출처 반도체 제조공정                         이온주입이란 이온 주입(Ion implantation)..
  • LED광학-반도체공정 이온주입(Ion Implantation) 23페이지
    이온주입 (Ion Implantation) Ion Implantation (이온 주입) è 이온을 목표물의 표면을 뚫고 들어갈 만큼 큰 에너지를 갖도록 전기장 으로 가속하여 목표물 속으로 넣어주는 공정 è 실리콘(4족)에 불순물(impurity, 3족 or 5족)을 도..
  • 숙제5(이온주입)_2012 6페이지
    숙제5[160] 1. 이온 주입 면적이 300cm2일 때, [40] ㄱ) 이온의 단위 주입량(dose), φ와 웨이퍼에 도달하는 전체 전하량, Q와의 관계를 1가 이온에 대하여 μC 단위로 유도하시오. ㄴ) 단위 주입량이 1012cm-2이고, 20초 동안 이온 주입시 ..
  • [물리학] 이온주입공정 25페이지
    Ⅰ. 서론 이온주입(Ion Implantation) 기술은 임의의 원소를 이온화하여 빔(beam)을 형성한 후 고에너지로 가속하여 각종 소재에 이온을 주입함으로써 소재 표면의 화학적 조성, 결정구조, 조직 등을 변형시켜 소재 표면의 물리적, 화학적, 기계적 성질을 조절..
  • 반도체 이온주입에 관한내용입니다. 20페이지
    20043250 정종학 20051556 양인수 20051679 조세훈 이온 주입 (Ion Implantation) 목 차 1. 이온주입의 정의 1. 이온주입의 정의 장점 단점 1. 주입되는 불순물양을 정확하게 제어할 수 있다 . 1. 비싸고 복잡하다 . 2. 불순물 분..
더보기
      최근 구매한 회원 학교정보 보기
      1. 최근 2주간 다운받은 회원수와 학교정보이며
         구매한 본인의 구매정보도 함께 표시됩니다.
      2. 매시 정각마다 업데이트 됩니다. (02:00 ~ 21:00)
      3. 구매자의 학교정보가 없는 경우 기타로 표시됩니다.
      4. 지식포인트 보유 시 지식포인트가 차감되며
         미보유 시 아이디당 1일 3회만 제공됩니다.
      상세하단 배너
      최근 본 자료더보기
      상세우측 배너
      추천도서
      [직접회로] 이온주입공정