확산(Diffusion) 공정

등록일 2002.12.22 MS 파워포인트 (ppt) | 60페이지 | 가격 1,500원

목차

확산의 목적
확산의 개념
원자의 확산 방법
대표적인 결함
도핑방법
확산의 종류

확산(Diffusion) 공정
확산의 조건
확산공정의 과정
초기 세척 및 etch
Process of Diffusion

Pre-Deposition
Pre-Deposition의 개념
Pre-Deposition 의 요소
Pre-Deposition 의 가변 계수
Pre-Deposition 의 과정
설비방식
2 단계 확산의 비교
2단계 확산의 이점
확산 공정의 종류
확산 장비의 종류
확산펌프
확산공정 모습

본문내용

확산(Diffusion) 공정
확산의 목적
확산의 개념
도핑방법
확산의 목적
PN접합을 만들기 위한 것
일정한 종류의 캐리어와 일정한 비저항을
얻기 위해
• 금속과 실리콘의 접촉 저항을 낮추기 위해
• 표면 전계 효과 소자의 특성 조절을 위해
• 캐리어의 재결합을 증가시켜서 고속의 포화 개폐 소자를 만들기 위해
• 소자 제조 과정에서 불순물을 제거하거나 게더링 하기 위하여 다른 불순물의 유도를 위해
확산의 개념
반도체 공정의 의미로서 확산이라 함은 전기로의 고온을 이용하여 고체 상태의 WAFER 표면에 필요한 불순물이나 산화막을 WAFER 표면에 주입시키는 것을 말한다. 전도성을 바꾸는 방법의 하나로 사용되어진다.
반도체공정에서는 액체간의 확산이 아니라 고체간의 확산이 이루어지며, 빠른 확산을 위해 환경을 고온처리 해주어야 한다.
*원하는 자료를 검색 해 보세요.
  • [반도체공정] 확산공정 60페이지
    확산의 목적PN접합을 만들기 위한 것 일정한 종류의 캐리어와 일정한 비저항을 얻기 위해• 금속과 실리콘의 접촉 저항을 낮추기 위해• 표면 전계 효과 소자의 특성 조절을 위해• 캐리어의 재결합을 증가시켜서 고속의 포화 개폐 소자를 만들기 위해• 소자 제조..
  • [전자소자] 반도체 확산공정 28페이지
    *Motivation intentional impurity diffusion unwanted impurity contamination *Impurity Doping control resistivity low conta..
  • 반도체 공정 50페이지
    1. 최외각 전자가 5개인 5족 원소(P, As)2. 첨가한 5족 원소의 양에 따라서 자유전자가 생김->(+)로 하나의 전자가 남음.3. 열을 가하면 전공이 생길 수 있지만 굉장히 적게 생김->튀어나온 자유전자가 많기 때문에 전공이 쉽게 사라짐
  • 반도체 제조 공정의 종류와 기법 서술 17페이지
    사진공정을 통해 집적회로를 구성하는 트랜지스터,저항,커패시터 등에 해당하는 패턴을 웨이퍼의 표면에 구현한다. 반도체 제조공정에서는 이러한 과정들이 여라 차례 반복되면서 하나의 칩을 만들어 내게 된다.가장 중요한 반도체 기술이 사진 공정이고 이에 관련 장비는 반도체공정 ..
  • 디스플레이 물성및재료 반도체 제조공정 디스플레이 제조공정1 26페이지
    *diffusion의 정의 및 종류Diffusion(확산) 한 물질이 어떤 다른 물질 속으로 퍼져나가는현상. (반도체 공정에서는 기체, 액체가 아닌 고체에서 일어남)Diffusion 공정 종류: 산화 공정, 확산 공정,..
  • 반도체 LED 강의 1장 : 반도체 기술 소개 24페이지
    반도체로서 Silicon불순물을 첨가하여 반도체의 성질을 바꿀 수 있다.Sb를 첨가한 n-형 실리콘 반도체 (전자의 농도가 더 높다) B를 첨가한 p-형 실리콘 반도체 (정공의 농도가 더 높다)n-형과 p-형 반도체를 이용하여 다이오드, 트랜지스터 등과 같은 전자 소자..
  • [공학]기초 반도체 공정 125페이지
    산화막형성은 실리콘 집적 회로 제작에서 가장 기본적이며 자주 사용되는 공정T < 200 ℃ : anodization : ethylene glycol + KNO3 vacuum deposition : SiO2 , Si..
더보기
      최근 구매한 회원 학교정보 보기
      1. 최근 2주간 다운받은 회원수와 학교정보이며
         구매한 본인의 구매정보도 함께 표시됩니다.
      2. 매시 정각마다 업데이트 됩니다. (02:00 ~ 21:00)
      3. 구매자의 학교정보가 없는 경우 기타로 표시됩니다.
      최근 본 자료더보기
      추천도서