[박막실험] 4point probe(저항측정)

등록일 2002.12.19 한글 (hwp) | 7페이지 | 가격 1,600원

소개글

쓰기 까다로운 4point probe의 원리에 대해 체계적으로 정리했습니다..

싼가격에 올려 놓았으니 많이 이용해 주세요..^^

절대 내용이 떨어지지 않습니다..

목차

1. Four Point Probe 에 대해서
(1) Four Point Probe 란 무엇인가?
(2) Four Point Probe 의 간단한 적용
2. Four Point Probe 의 원리 및 이론
(1) 기본적인 원리
3. Four Point Probe 의 일반적 사용법
(1) 일반적인 Four Point Probe 사용시 주의 사항
(2) 측정 능력의 한계
(3) 저항치의 계산
(4) 일반적인 사항
(5) 기본적인 조작 순서
4. Four Point Probe 의 특징
(1) 장 점
(2) 단 점
5. 참고 문헌

본문내용

2. Four Point Probe 의 원리 및 이론
(1) 기본적인 원리
저항 Rho 는 특히 반도체 분야에서 샘플의 불순물 농도 때문에 중요한 파라메타이다. four point probe는 보통 벌크 저항을 측정하는데 사용한다. 캐리어의 운동성은 온도, 결정결함의 농도, 분순물의 농도에 의해 결정된다. 홀 이펙트 (Hall effect)의 측정은 주어진 샘플의 정확 한 dopant 의 농도를 측정함으로써 가능하나, 홀 이펙트 측정은 항상 샘플을 부숴야 하는 단 점이 있다. 4-four point probe 는 동일선상에 놓여진 텅스텐 와이어 프로브를 포함하고 있 으며, 샘플의 표면을 접촉하도록 되어 있다. 전류(I)는 바깥쪽 프로브 사이에서 흐르며, 전압(V)는 안쪽 프로브 사이에서 측정하여 전류 의 손실이 없도록 하였다. 샘플이 어느 정도 무한한 부피를 가지고 있고 프로브 안쪽의 간격 이 s1= s2 = s3 = s 라면 어느 정도 무한한 볼륨의 저항은 다음과 같다.
Rho = (2ρ×s) (V / I) (1)
진행된 공식은 측정된 저항치를 나타내며, 실제값 Rho 와 같으며, 어느 정도 무한한 볼륨의 샘플이라 가정한다. 실제적인 샘플은 물론 한정된 크기이다. 물론 실제의 샘플에 있어서 사이 즈는 한정되어 있다. 일반적으로 어느 프로브에서 가장 가까운 경계까지의 거리 (최소 5s) 에 서는 Correction factor 가 필요하지 않다.
*원하는 자료를 검색 해 보세요.
  • 4-point probe 박막측정 실험 12페이지
    □ 목적 1. 4-point probe에 대해 알아보자. 2. 면 저항 및 저항률의 개념을 이해하고 장비를 이용해 박막의 두께를 측정, 이를 통해 uniformity를 계산하자.□ 실험의 배경이론①. 4-Point Probe 에 대해서(1) 4-Poin..
  • [반도체] 4-Point Prove 3페이지
    1. 4-Point Probe 이론 저항은 특히 반도체 분야에서 샘플의 불순물 농도 때문에 중요한 파라메타이다. 4-Point Probe는 보통 벌크 저항을 측정하는데 사용한다.캐리어의 운동성은 온도, 결정결함의 농도, 분순물의 농도에 의해 결정된다. 홀 이펙트( H..
  • Four point probe의 원리 및 실험 8페이지
    1. Objective- To understand the relationship between sheet resistance (Rs) and thickness (t) of conductor.- To understand the poeration principle of 4..
  • Four-point Probe를 이용한 1Cr-1Mo-0.25V 강의 전기비저항 정밀측정 (Precision Measurements of Electrical Resistivity of 1Cr-1Mo-0.25V Steel Using Four-Point Probe) 4페이지
    한국정밀공학회 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 유광민, 김용일, 김시천, 남승훈
  • 박막 분석 장비의 원리와 종류 (SEM, 4-Point Probe, XRD, AFM, EFM) 22페이지
    Ⅲ. XRD(X-ray Diffraction) XRD란 X-Ray Diffraction의 약자로서 X-ray를 어떠한 샘플에 투사하면 X선이 산란 및 회절을 하게 되는데 이러한 회절 패턴을 분석하는 것을 말한다. 1912년 von Laue에 의해 결정에 의한 X선 회..
  • [OLED, LED] (Sputtering) 금속 박막 특성 평가 7페이지
    1. 실험목적 Sputtering을 이용하여 증착한 금속(Ni) 박막의 특성을 분석한다. Sheet Resistance, Resistivity, Etch rate의 개념을 익히고 four probe measurement의 사용법을 익힌다.2. 실험기구 및 재료준비 금속..
  • [고려대 재료공학실험 - 예비보고서] Hall measurement 및 4-point probe를 이용한 반도체의 전기적 특성 분석 4페이지
    (1) 태양전지와 LED에 사용되는 투명전극의 종류와 역할 § 용어정리투명전극 (Transparent electrode): 높은 전기전도도와 빛의 투과율을 요하는 물질로 LED, 태양전지, 평면 디스플레이 등에 다양하게 사용되는 전자소자LED: light-emittin..
더보기
      최근 구매한 회원 학교정보 보기
      1. 최근 2주간 다운받은 회원수와 학교정보이며
         구매한 본인의 구매정보도 함께 표시됩니다.
      2. 매시 정각마다 업데이트 됩니다. (02:00 ~ 21:00)
      3. 구매자의 학교정보가 없는 경우 기타로 표시됩니다.
      최근 본 자료더보기
      추천도서