AFM(Atomic Force Microscope) 발표자료 (PPT)

목차

1. AFM의 필요성
2. AFM의 구조
3. AFM의 작동원리
4. AFM의 종류
5. AFM의 단점
6. 좋은 AFM이란 ?
7. 원자현미경(AFM)의 현재와 미래

본문내용

원자현미경(Atomic Forced Micoroscope) 이란?
주사탐침을 이용한다해서 ‘주사탐침현미경’으로도
불리기도 함
미세한 탐침을 시료에 접근시켜 시료와 탐침 끝
사이의 상호작용을 이용하는 현미경
측정요소 : 기계적 성질, 전기적 성질, 광학적 성질
생명 공학(특히 세포), 나노 기술 등의 발전에
큰 기여

1. AFM의 필요성
기존의 광학현미경, 전자현미경(SEM) 의 수백~수천배의 배율
→ 기존에 측정이 불가했던 원자단위 측정이 가능
→ 나노기술에 없어선 안될 도구

미세 세계에 대한 의문 해소
원자 하나하나를 움직이거나 물질 표면을 원자단위로 변형 가능

<중 략>

4. AFM의 종류
STM(주사터널링현미경,
Scanning tunneling microscope)
< 전자 터널링 현상 >
C-AFM(접촉식 원자 힘 현미경
Contact Atomic Forec microscope)
NC-AFM(비접촉식 원자 힘 현미경
Non Contact Atomic Forec microscope)
AFM의 종류는 크게 세가지로 나뉘어짐

5. AFM의 단점
광학현미경이나 전자현미경에 비해 영상을 얻는 속도 매우 느림

압전세라믹 자체의 비선형성, 이력현상으로 인해
오차가 발생
튜브의 비틀림에 의존하여 스캔하여 x-y-z측 움직임의

<중 략>

원자현미경(AFM)의 현재와 미래
원자현미경은 nm 단위의 극미세 세계를 가시화하여 NT 시대를
여는데 가장 큰 공을 세웠고 지속적으로 발전
초기에는 원자의 배열 등을 보여주는 장비였지만, 점차 시료의 특성을
밝혀내는 분석장비로 발전
점차 정확도가 개선되어 반도체, 평판 디스플레이 제조공정용 정밀
계측장비로 사용되기에 이름
진공에서만 측정가능한 전자현미경과 달리 넓은 응용범위를 가짐
앞으로 nano-lithography(사진묘사), nano-machining(절삭)

참고 자료

없음