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전자 주사 현미경 구조

*예*
최초 등록일
2013.03.29
최종 저작일
2011.10
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목차

1)전자선과 시료와의 관계
2)배율 결정
3)진공계
4)전자 광학계
5)전자 회로계

본문내용

1)전자선과 시료와의 관계

2)배율 결정
주사전자현미경은 전자선 탐침을 만들어 시료를 면상으로 주사하여 시료에서 얻어진 신호를 CRT화면에 재생하는 것이므로 그 배율은 시료의 주사면 을 계속 줄임으로써 CRT에 확대된 상을 얻을 수 있다. 이것은 시편의 특성과 전자선탐침의 직경 등에 의해 영향을 받음으로 보통의 주사전자 현미경에서는 삼십만 배 정도가 최고 배율이 된다.

3)진공계
유확산 펌프는 원통형 구조의 경통에 적당량의 오일을 충진하고 밑면에 히터를 장착한다. 내부에는 제트침니를 두어 가열된 오일증기가 이 침니 상의 노즐을 고속으로 뿜어져 나오게 하고 경통주위에는 냉각수 라인을 설치하여 오일증기를 식혀 오일로 환원 시킨다. 한편 밑면에 배기구가 있어 유회전 펌프와 연결한다. 이 유확산 펌프의 동작은 먼저 유회선 펌프로 10토르 이하로 내부진공을 뽑고 오일을 충분히 가열하여 침니 내부에서 압축된 오일증기는 노즐을 통하여 고속으로 벽면으로 이동하므로 그 주변압력이 떨어져 결국 펌프의 경통내의 압력차이로 경통 내 기체 입자를 빨아들이므로 진공펌프 역할을 한다. 이 오일증기는 냉각수에 의해 오일로 응결되어 밑으로 떨어지고 다시 증기가 되는 순환운동을 하게 된다.

<중 략>

플라즈마의 원리 & 스퍼터 코팅의 효과
-플라즈마의 원리
플라즈마를 제 4원소라고 한다. 고체 액체 기체 다음으로 플라즈마인데, 제3원소인 고체 기체 액체는 전부 원자의 모임인데 이는 상온 대기압에서 원자의 상태로 안정하게 뭉쳐있다
그 뭉침이 가장 약한 게 기체, 조금 더 가깝게 있으면 액체, 그리고 조밀하게 붙어있으면 고체라고 한다.
그렇다면 플라즈마란 기체 상태에서 원자가 아닌 양이온과 전자로 분리된 상태로 존재하는 것을 말한다.

참고 자료

없음
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