주사탐침 현미경 spm

목차

1. SPM(Scanning Probe Microscope 주사 탐침 현미경)
2. STM(Scanning tunneling microscope)
3. AFM(Atomic Force Microscope)
4. Contact AFM
5. Non-Contact AFM (NC-AFM)

본문내용

SPM은 주사탐침현미경 Scanning Probe Microscope의 약자이다. 주사탐침 현미경이란, 주사탐침 현미경이란 원자스케일에까지 날카롭고 뾰족하게 한 침(Probe)을 시료인 고체 표면에 직접 접촉 또는 근접시켜 위에서 고체 표면을 왕복하며 쓸 듯이 스캐닝하여 그 고체 표면의 형상을 알 수 있는 현미경의 총칭이다.
이런 원자 현미경원 3세대 현미경으로 불리우고 있으며 1세대는 광학 현미경 2세대는 전자현미경등이 있다. 예전의 전자 현미경 SEM은 최고 배율이 수십만배정도 여서 원자 단위 까지는 관찰이 불가능 하였지만 SPM의 개발로 인해 최고 수천만배 까지 배율을 늘릴수 있어 하나의 원자 까지 관찰이 가능해 졌다.

<중 략>

현재 IT분야등에서 나노 기술 원자 크기의 작은 것들을 대상으로 하는 것이 늘어감에 따라 원자현미경의 수요가 증가 하고 있다. 반도체 산업에서는 원자 현미경을 차세대 정밀 계측장비로 인정을 하고 있다.
원자는 그 크기(0.1∼0.5nm)가 너무 작아서 어떠한 기존의 현미경으로도 볼 수 없다는 기존의 통념이 SPM의 등장으로 바뀌게 되었다. 그 배율은 수천만배까지 가능하며 수평분해 0.1nm, 수직분해능 0.01nm의 3D 입체영상이 가능하게 되었다. 기존 전자현미경의 배율보다도 100배 우수하고, 개개의 원자의 수직정보, 플로이드상태에서 관찰 가능하며 시료의 전처리가 없고, 관리 경비가 저렴해 상대성의 우위로 이제 나노 테크놀로지의 보편적 장비가 되어가고 있다. 또한 현미경의 역할만이 아닌 원자 및 분자의 특성 관찰, 유전자 조작, Nanoindent, Heating system, SCM, NSOM 등의 개발로미세분야로서의 물리적 기술적 접근이 용이하게 되었다. 이제 나노 테크놀로지는 과학전쟁의 최첨단 경쟁력 있는 도구로서 SPM을 그 기초로 하게 되었다. SPM은 STM과 AFM을 통칭이다.

참고 자료

없음