[진공과학] 진공과학

등록일 2002.12.05 한글 (hwp) | 8페이지 | 가격 500원

소개글

제가 조사한 내용입니다. 목차의 내용들을 세부적으로 조사하여 보고서 형식으로 편집된 내용입니다. 많은 참조 바랍니다.

목차

● 플라즈마(DC, RF-PLASMA)
● 진공 증착
● CVD법-기상화학 성장법
● 스퍼터링(sputtering)

본문내용

● 플라즈마(DC, RF-PLASMA)
고온에서 음전하를 가진 전자와 양전하를 띤 이온으로 분리된 기체상태로서 전하분리도가 상당히 높으면서도 전체적으로는 음과 양의 전하수가 같아서 중성을 띠고 있는 기체. 원거리 작용을 하는 쿨롱힘이 전하 사이에 작용하므로 근거리의 국부상태보다는 먼 곳의 상태의 영향을 더 받아서 전체가 함께 움직 이는 집단행동의 특성을 지니고 있다.
플라즈마라는 이름은 1930년 미국의 I. 랭뮤어가 전기방전시 생긴 이온화된 기체에 붙은 것이 최초이다. 플라즈마란 단어는 그리스어의 πλσμα, -ατοs, τ로부터 온 말로서 그 원래 뜻은 틀에 넣어서 만든 것, 조립된 것 등이다. 집단 행동의 특성이 말해 주듯이 실제로 플라즈마를 다루는 데는 외부에서 쉽게 조절된다고 하기보다는 플라즈마 스스로가 자기 멋대로 행동하는 것이 예사이어서 원래 붙인 이름이 잘못된 것이라는 사람도 있다.
고체·액체·기체(물질의 세 상태)에 이어 플라즈마를 제 4의 물질상태라고 부른다. 온도를 차차 높이는 데 따라 거의 모든 물체가 고체로부터 액체 그리고 기체 상태로 변화한다. 섭씨 수만 도에서 기체는 전자와 원자핵으로 분리되어 플라즈마 상태가 된다. 일상 생활에서는 플라즈마가 흔하지 않으나 우주 전체를 보면 월등히 흔한 상태라고 할 수 있다.
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