Auger Electron Spectroscopy(AES) 분석장비에 대하여
- 최초 등록일
- 2012.10.21
- 최종 저작일
- 2012.07
- 16페이지/ MS 파워포인트
- 가격 1,000원
소개글
Auger Electron Spectroscopy(AES)의 분석장비에 대한 내용을 요약한 자료입니다. 보시고 유용한 부분있으시면 받아가세요
목차
Auger Electron Spectroscopy (AES)의 정의
AES 구성도
AES의 원리
AES의 특징
AES의 분석 및 적용
AES의 장 단점
본문내용
Auger Electron Spectroscopy : 시험, 연구용으로 널리 사용되는 표면분석법의 하나로 고진공 중에서의 시료에 전자빔을 조사하면 전자가 방출되어 여기상태가 되나 이 완화과정에서 오거전자가 방출되며, 그 에너지는 원소 고유의 값이므로 원소분석이 가능하다. 5~10㎛Φ 정도의 면적, 표면에서 약 10Å의 깊이까지라고 하는 대단히 좁은 범위를 약 0.1 중량 %의 감도로 분석할 수 있다. 특히 경원소에서의 분석에 유리하다(단, Hg는 제외). Ar+이온 스패터링을 병용하여 깊이 방향의 분석도 가능하다. 분석 대상물은 금속, 반도체, 폴리머 등의 유기물과 세라믹 등 대단히 광범위하다.
Auger electron : 오제 효과에 의해 방출되는 전자. 즉 들뜬 상태에 있는 원자가 바닥상태로 전이하여 전자가 저위 궤도로 이행할 때, 다른 전자가 그 에너지를 받아들여 방출하는 일이 있다. 이와 같은 전자를 지칭한다. 원자번호가 작은 원자와 비교적 외측 각에 빈 구멍이 생긴 경우에 많이 볼 수 있고, 원자번호가 큰 원자의 내각에 빈 구멍이 생겼을 때는 X선을 방사한다.
<중 략>
내부잔류 gas로 부터의 흡착
식각된 물질의 재침전
이온빔의 impurities
이온빔으로부터의 neutrals
이온빔 intensity의 불균일성
시간에 따른 이온빔 intensity의 변화
시료표면의 roughness
시료 결정의 방향 및 결함
성분마다 다른 sputtering yield
Atomic mixing
시료 원자들의 확산이나 분리, 결합
참고 자료
없음