금속 산화물 및 질화물 합성 (예비)

소개글

금속 산화물 및 질화물 합성 레포트 입니다. 레포트 쓰는 거 뿐만 아니라 실험 시험치시기 전에 잠깐 보셔도 도움되실꺼에요 ~^^ 모두 A+ 받으세요 ! 화이팅 !~!!

목차

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본문내용

1. 실험 목적 ;

알루미늄 착물을 이용하여 질화알루미늄(AlN)분말을 합성하고, AlN이 생성되는 반 응과정, 즉 반응메카니즘을 추정해 본다.


2. 이론 ;

최근 반도체 소자의 소형화와 고집적화에 따라 회로 단위면적당 방출하는 열의 증가로 칩의 온도가 상승하여 회로의 신뢰도 및 수명이 떨어지는 문제점이 생기게 되었다. 따라서 회로에서 방출되는 열을 효율적으로 방출시켜 회로를 보호하기 위 해 높은 열전도도를 갖는 기판 및 패키지를 사용해야 할 필요가 대두되었다. 질화 알루미늄(AlN)은 높은 열전도성, 높은 전기절연성, 낮은 유전상수 및 유전손실, 실 리콘과 비슷한 열팽창계수 등과 같은 특성을 가지고 있어 반도체의 기판재료나 반 도체 레이저용 방열재 등과 같은 전자재료로서의 수요증대가 크게 기대되고 있다.

종래의 기판용 재료는 알루미나가 주류이었지만, 알루미나와 비교할 경우 질화알 루미늄은 위에 기술한 특성 이외에도 곡강도가 높고, 경도가 낮아 가공성에 있어 서도 뛰어나기 때문에 반도체용 재료로서 알루미나와 경쟁을 할 가능성이 높아, 차세대의 기판재료로서의 기대가 높다.
반도체 기판이나 패키지 재료로서 사용될 질화알루미나분말 특성의 조건은 엄격하 다. 높은 열전도도를 가진 질화알루미늄 기판을 제조하기 위해서는 열전도도를 떨 어뜨리는 주원인인 산소와 금속불순물의 함량이 매우 낮아야 된다. 또한 완전한 밀도의 소결체를 얻기 위해서는 입자의 크기가 미세해야 하며, 좁은 입도분포를 가져야 한다.

참고 자료

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