• LF몰 이벤트
  • 파일시티 이벤트
  • 캠퍼스북
  • 서울좀비 이벤트
  • 탑툰 이벤트
  • 닥터피엘 이벤트
  • 아이템베이 이벤트
  • 아이템매니아 이벤트

포토리소그래피 정의, 과정, PR의 종류 (Photolithography)

*연*
개인판매자스토어
최초 등록일
2012.01.11
최종 저작일
2011.12
22페이지/파워포인트파일 MS 파워포인트
가격 1,000원 할인쿠폰받기
다운로드
장바구니

소개글

어떤 특정한 화학약품(Photo Resist)이 빛을 받으면 화학반응을 일으켜서 성질이 변하는 원리를 이용하여 얻고자 하는 Pattern의 Mask를 사용하여 빛을 선택적으로 PR에 조사함으로써 Mask의 Pattern과 동일한 Pettern을 형성시키는 공정

목차

Photo Resist

Negative PR

Positive PR

Photolithography Process
1. 기판세척 및 표면처리
2. PR coating
3. Soft-baking
4. Mask align & Exposure
5. Develop
6. Hard-baking
7. Etching

본문내용

2. PR coating

분사된(dispense) 액상(liquid) PR을 높은 회전수로 회전시켜
균일한 얇은 막의 형태로 기판 전체를 도포시키는 과정

▶ PR의 두께조절 : RPM, 스핀 시간, PR의 점성
▶ PR의 균일화 중요

3. Soft-baking

PR 내부의 용매(solvent) 및 수분을
증발시킴으로써 액체상태의 PR을
젤 상태로 변화시키는 과정

▶ Hot Plate 이용 (90 ℃ ~100 ℃ )
▶ PR에서 용매(solovent)를 제거
▶ PR의 접착력 향상
▶ PR의 평탄화
▶ Spin 동안 형성된 Stress 제거

참고 자료

없음

태그

#반도체#포토리소그래피#공정#마스크#pr#포토레지스트#photo resist#positive pr#NEGATIVE PR

이 자료와 함께 구매한 자료

*연*
팔로우 판매자 스토어
판매자 유형Bronze개인

주의사항

저작권 자료의 정보 및 내용의 진실성에 대하여 해피캠퍼스는 보증하지 않으며, 해당 정보 및 게시물 저작권과 기타 법적 책임은 자료 등록자에게 있습니다.
자료 및 게시물 내용의 불법적 이용, 무단 전재∙배포는 금지되어 있습니다.
저작권침해, 명예훼손 등 분쟁 요소 발견 시 고객센터의 저작권침해 신고센터를 이용해 주시기 바랍니다.
환불정책

해피캠퍼스는 구매자와 판매자 모두가 만족하는 서비스가 되도록 노력하고 있으며, 아래의 4가지 자료환불 조건을 꼭 확인해주시기 바랍니다.

파일오류 중복자료 저작권 없음 설명과 실제 내용 불일치
파일의 다운로드가 제대로 되지 않거나 파일형식에 맞는 프로그램으로 정상 작동하지 않는 경우 다른 자료와 70% 이상 내용이 일치하는 경우 (중복임을 확인할 수 있는 근거 필요함) 인터넷의 다른 사이트, 연구기관, 학교, 서적 등의 자료를 도용한 경우 자료의 설명과 실제 자료의 내용이 일치하지 않는 경우

이런 노하우도 있어요!더보기

찾던 자료가 아닌가요?아래 자료들 중 찾던 자료가 있는지 확인해보세요

  • 워드파일 나노화학실험 SAMs & DTP 예비보고서 9페이지
    이론 및 키워드 [1] SAMs의 정의 / 구조 [1.1] SAMs의 정의 ... 경화제, 산화방지제 등 다양한 제품이 쓰인다. [5.3] Etching : 포토공정 ... 최근 20년 동안 다양한 종류의 SAMs가 개발되고 연구되어 왔는데 이들은
  • 워드파일 Patterning and treatment of SiO2 thin films 예비보고서 A+ 6페이지
    남아있는 PR을 제거한다. 4) 식각(etching)의 종류와 정의 식각이란 ... 빛을 사용한 석판인쇄술을 포토리소그래피로 불리며 이는 흔히 말하는 포토공정을니다 ... 보통 8대공정으로 이루어져 있는데, 웨이퍼, 산화, 포토, 식각, 박막,
  • 한글파일 유기재료응용 중간고사 정리 15페이지
    저렴함. ④ Simple lithography process : 프로세스가 포토리소그래피보다 ... 종류 1) positive : 빛을 받은 부분이 흐물흐물해지고 식각하면 ... 가스사출성형(Gas Assisted Injection Molding) 정의
  • 워드파일 2019 패터닝 예비보고서 (74.5/80) 5페이지
    식각(etching)의 종류와 정의 (식각 장비의 종류와 원리를 중점적으로 ... 실험 목적 패터닝의 과정을 이해하고 식각 전후의 박막과 PR의 두께변화를 ... 포토리소그래피 Lithography공정이란 노광 공정이라고도 하며 웨이퍼에
  • 워드파일 [A+레포트] 마이크로리소그래피 실험 Microlithography 10페이지
    노광된 부분의 PR이 용해성이 증가하는 종류로 developer에 더 잘 ... 마이크로리소그래피 실험 Microlithography Lab 1. ... PR을 solvent에 녹이는 과정에서 PR 위에 deposition된 필름은
더보기
최근 본 자료더보기
탑툰 이벤트
포토리소그래피 정의, 과정, PR의 종류 (Photolithography)
  • 레이어 팝업
  • 레이어 팝업
  • 레이어 팝업
  • 레이어 팝업
  • 레이어 팝업